北京青耘科技有限公司趙如月獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京青耘科技有限公司申請的專利存儲晶圓結構以及三維集成裝置的形成方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120319294B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510791344.7,技術領域涉及:G11C29/08;該發明授權存儲晶圓結構以及三維集成裝置的形成方法是由趙如月設計研發完成,并于2025-06-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本存儲晶圓結構以及三維集成裝置的形成方法在說明書摘要公布了:本發明涉及一種存儲晶圓結構以及一種三維集成裝置的形成方法。所述存儲晶圓結構的切割區形成有測試芯片,測試芯片包括核心存儲模塊、輸入輸出模塊、控制模塊以及數據通道模塊,利用測試芯片,能夠在存儲晶圓結構與邏輯電路晶圓鍵合之前間接檢測芯片區的存儲單元的性能和良率,便于篩選合格的存儲晶圓結構與邏輯電路晶圓鍵合,有助于提高包括存儲晶圓結構和邏輯電路晶圓的三維集成裝置的良率,降低報廢成本。所述三維集成裝置的形成方法中,在將上述存儲晶圓結構與邏輯電路晶圓鍵合之前,先利用所述測試芯片進行測試,有助于提高良率,降低報廢成本。
本發明授權存儲晶圓結構以及三維集成裝置的形成方法在權利要求書中公布了:1.一種存儲晶圓結構,其特征在于,包括多個芯片區和位于各所述芯片區周圍的切割區,每個所述芯片區形成有一個存儲芯片,每個存儲芯片包括多個包括存儲器件陣列的存儲單元,所述切割區形成有測試芯片,所述測試芯片包括: 核心存儲模塊,包括存儲器件陣列,所述核心存儲模塊中的存儲器件陣列復制于一個所述存儲單元中的存儲器件陣列的至少一部分; 輸入輸出模塊,用于將外部信號接入所述測試芯片以及輸出所述測試芯片檢測到的信號,以至少檢測所述核心存儲模塊的電路連接功能和讀寫性能; 控制模塊,用于根據所述輸入輸出模塊的輸入信息形成控制信號; 數據通道模塊,用于根據所述控制模塊的控制信號在所述輸入輸出模塊與所述核心存儲模塊之間形成雙向數據傳輸通道;以及 電熔絲模塊,復制于所述存儲單元內部的電熔絲模塊,在所述測試芯片內,所述電熔絲模塊用于獲取所述輸入輸出模塊輸入的編程電壓,并根據所述控制模塊的控制信號對電熔絲進行編程,所述電熔絲模塊還將對熔絲元件進行編程的結果發送給所述數據通道模塊進行驗證。
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