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龍圖騰網(wǎng)獲悉湖州運(yùn)穩(wěn)智能科技有限公司申請(qǐng)的專利一種晶圓盒緩存?zhèn)}獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120356855B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510840706.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/673；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓盒緩存?zhèn)}是由李天暉;李天曦設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-23向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種晶圓盒緩存?zhèn)}在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓盒緩存?zhèn)}，涉及晶圓技術(shù)領(lǐng)域，包括：倉(cāng)體，其內(nèi)部形成有容置空間，且容置空間內(nèi)設(shè)置有溫度傳感器，所述倉(cāng)體的左右兩側(cè)分別開(kāi)設(shè)有與容置空間連通的進(jìn)口和出口；在容置空間內(nèi)，靠近進(jìn)口一側(cè)為送料區(qū)、靠近出口一側(cè)為取料區(qū)、取料區(qū)和送料區(qū)之間為緩存區(qū)，緩存區(qū)正面和背面的一側(cè)均為活動(dòng)區(qū)；送料傳送組件，其固定裝配于送料區(qū)，用于從進(jìn)口處接收并輸送晶圓盒至送料區(qū)；取料傳送組件，其固定裝配于取料區(qū)，用于將晶圓盒從出口輸送至倉(cāng)體外部。本發(fā)明通過(guò)結(jié)構(gòu)創(chuàng)新與功能集成，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中實(shí)現(xiàn)了晶圓緩存?zhèn)}的高效化、智能化與高可靠性設(shè)計(jì)，為半導(dǎo)體制造的物料傳輸環(huán)節(jié)提供了突破性技術(shù)方案。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓盒緩存?zhèn)}在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓盒緩存?zhèn)}，其特征在于，包括： 倉(cāng)體（1），其內(nèi)部形成有容置空間（11），且容置空間（11）內(nèi)設(shè)置有溫度傳感器，所述倉(cāng)體（1）的左右兩側(cè)分別開(kāi)設(shè)有與容置空間（11）連通的進(jìn)口（12）和出口（13）；在容置空間（11）內(nèi)，靠近進(jìn)口（12）一側(cè)為送料區(qū)（111）、靠近出口（13）一側(cè)為取料區(qū)（112）、取料區(qū)（112）和送料區(qū)（111）之間為緩存區(qū)（113），緩存區(qū)（113）的正面和背面一側(cè)均為活動(dòng)區(qū)（114）； 送料傳送組件（2），其固定裝配于送料區(qū)（111），用于從進(jìn)口（12）處接收并輸送晶圓盒至送料區(qū)（111）； 取料傳送組件（3），其固定裝配于取料區(qū)（112），用于將晶圓盒從出口（13）輸送至倉(cāng)體（1）外部； 緩存架（4），其固定裝配于緩存區(qū)（113），所述緩存架（4）前側(cè)和后側(cè)均陣列分布有若干個(gè)晶圓緩存腔（5），每個(gè)晶圓緩存腔（5）內(nèi)均安裝有靜電消除器； 兩組機(jī)械手（6），分別對(duì)稱裝配于兩個(gè)活動(dòng)區(qū)（114）內(nèi)，所述機(jī)械手（6）包括XZ軸直線模組（61）、移動(dòng)平臺(tái)（62），及沿Y軸方向滑動(dòng)安裝于移動(dòng)平臺(tái)（62）上的操作部（63），所述XZ軸直線模組（61）用于驅(qū)使所述移動(dòng)平臺(tái)（62）沿X軸和Z軸方向移動(dòng)，所述操作部（63）用于取放晶圓緩存腔（5）內(nèi)的晶圓盒； 所述移動(dòng)平臺(tái)（62）水平固定安裝于滑動(dòng)套座（621）的一側(cè)，所述操作部（63）包括通過(guò)導(dǎo)向滑軌滑動(dòng)安裝于移動(dòng)平臺(tái)（62）中間位置處的移動(dòng)座（631）、設(shè)置在移動(dòng)平臺(tái)（62）頂部靠近緩存腔一側(cè)的轉(zhuǎn)移槽（632）、安裝于移動(dòng)座（631）頂部的操作板（633），以及用于驅(qū)動(dòng)移動(dòng)座（631）沿導(dǎo)向滑軌長(zhǎng)度方向滑動(dòng)的帶式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（7），所述轉(zhuǎn)移槽（632）具有一水平的承載面（6321）和對(duì)稱設(shè)置在承載面（6321）兩側(cè)的側(cè)限位面（6322），所述操作板（633）一端安裝在移動(dòng)座（631）的頂部，操作板（633）的另一端延伸至轉(zhuǎn)移槽（632）上方位置處，且操作板（633）底部遠(yuǎn)離移動(dòng)座（631）的一端垂直設(shè)置有拉板（6331），拉板（6331）與移動(dòng)座（631）之間安裝有推板（6332），所述推板（6332）、拉板（6331）、轉(zhuǎn)移槽（632）合圍形成對(duì)晶圓盒限位的限位空間； 所述帶式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（7）包括沿Y軸方向轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在移動(dòng)平臺(tái)（62）一側(cè)的主動(dòng)齒輪（71）和從動(dòng)齒輪（72），及套設(shè)在主動(dòng)齒輪（71）和從動(dòng)齒輪（72）之間的皮帶（73），所述皮帶（73）內(nèi)側(cè)設(shè)置有與主動(dòng)齒輪（71）和從動(dòng)齒輪（72）的嚙合的齒牙，所述移動(dòng)座（631）通過(guò)連接構(gòu)件與皮帶（73）固定連接； 所述操作板（633）通過(guò)液壓抬升組件（8）安裝于移動(dòng)座（631）上，所述液壓抬升組件（8）包括L型液壓殼（81）、及分別滑動(dòng)設(shè)置在液壓殼體內(nèi)兩端的抬升軸桿（82）和觸發(fā)軸桿（83），所述L型液壓殼（81）包括沿Y軸方向設(shè)置的第一直線段（811），及連接在第一直線段（811）底端并沿X軸方向設(shè)置的第二直線段（812），所述第一直線段（811）內(nèi)密封滑動(dòng)設(shè)置有第一活動(dòng)塞（821），所述抬升軸桿（82）垂直固定在第一活動(dòng)塞（821）頂部，且抬升軸桿（82）的頂端與操作板（633）固定連接，所述第二直線段（812）內(nèi)密封滑動(dòng)設(shè)置有第二活動(dòng)塞（831），所述觸發(fā)軸桿（83）固定在第二活動(dòng)塞（831）遠(yuǎn)離第一活動(dòng)塞（821）的一側(cè)，且觸發(fā)軸桿（83）遠(yuǎn)離第二活動(dòng)塞（831）的一端與連接構(gòu)件轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人湖州運(yùn)穩(wěn)智能科技有限公司，其通訊地址為：313000 浙江省湖州市南太湖新區(qū)康山街道紅豐路1366號(hào)6幢9層988-19室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。