合肥中聚和成光電材料股份有限公司吳際峰獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉合肥中聚和成光電材料股份有限公司申請的專利一種高穩定長壽命的銅鈦蝕刻液及其制備方法與應用獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120400842B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510919100.2,技術領域涉及:C23F1/18;該發明授權一種高穩定長壽命的銅鈦蝕刻液及其制備方法與應用是由吳際峰;王鎖;陳正燃;王維康;何燁謙;黃德新;龔升設計研發完成,并于2025-07-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種高穩定長壽命的銅鈦蝕刻液及其制備方法與應用在說明書摘要公布了:本發明屬于蝕刻液技術領域,具體涉及一種高穩定長壽命的銅鈦蝕刻液及其制備方法與應用。銅鈦蝕刻液以過硫酸鹽、有機酸、磺化環糊精、含硫酸氫鹽的酸性離子液體、氟化合物、多元醇和水為原料混合獲得。銅鈦蝕刻液中各成分共同作用,使蝕刻液均勻刻蝕,減少局部過蝕或殘留,適用于CuTi疊層的精密蝕刻,本發明提供的銅鈦蝕刻液具有高穩定性、長壽命的優勢,且環境友好、工藝適應性強,適用于精密電子器件加工,有效降低生產成本。
本發明授權一種高穩定長壽命的銅鈦蝕刻液及其制備方法與應用在權利要求書中公布了:1.一種高穩定長壽命的銅鈦蝕刻液,其特征在于,按照質量百分比計,包括:過硫酸鹽5-15%、有機酸3-15%、磺化環糊精0.5-3%、含硫酸氫鹽的酸性離子液體0.1-4%、氟化合物0.05-1%、多元醇0.01-2%,余量為水。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人合肥中聚和成光電材料股份有限公司,其通訊地址為:231600 安徽省合肥市肥東縣合肥循環經濟示范園長松路東;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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