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龍圖騰網獲悉興艦科技發展(常州)有限公司申請的專利一種陶瓷和金屬復合靜電卡盤制作方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120432427B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510926380.X，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權一種陶瓷和金屬復合靜電卡盤制作方法是由王舜;王為;葉正光設計研發完成，并于2025-07-07向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種陶瓷和金屬復合靜電卡盤制作方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種陶瓷和金屬復合靜電卡盤制作方法，涉及半導體制造過程中夾緊技術領域，一種陶瓷和金屬復合靜電卡盤制作方法，包括陶瓷外殼及金屬基板，所述陶瓷外殼及金屬基板之間設置有多組同心設置的同心圓環電極。本發明的陶瓷和金屬復合靜電卡盤在制作的過程中，使用壓裝設備將同心圓環電極壓裝于陶瓷外殼的埋入槽內部，在壓裝的過程中，通過壓裝組件、檢測組件及傳動組件等部件的相互配合，可以直觀的判斷同心圓環電極壓裝后是否存在異常，且結合畫線異常的位置及異常的形狀，可以判斷同心圓環電極壓裝異常的位置及壓裝異常的原因，后續不需要重復進行檢測，提高陶瓷和金屬復合靜電卡盤制備的效率的同時降低了卡盤制備的設備成本。

本發明授權一種陶瓷和金屬復合靜電卡盤制作方法在權利要求書中公布了：1.一種陶瓷和金屬復合靜電卡盤制作方法，所述陶瓷和金屬復合靜電卡盤包括陶瓷外殼、金屬基板、同心圓環電極、埋入槽及嵌入槽，其特征在于，所述陶瓷和金屬復合靜電卡盤制作方法包括以下步驟： S1：陶瓷外殼預處理； S2：同心圓環電極加工處理； S3：使用壓裝設備對同心圓環電極壓裝； S4：卡盤組裝； S3中所述壓裝設備包括機架、升降臺及承載臺，所述升降臺與承載臺之間設置有圓形罩，所述圓形罩的底部通過多組安裝槽分別滑動連接有多組呈環形陣列的狀態設置安裝塊，所述安裝塊上設置有用于對同心圓環電極壓裝的壓裝組件及壓裝過程中檢測的檢測組件，所述壓裝組件與檢測組件之間設置有壓裝檢測過程中存在異常時傳動的傳動組件，所述壓裝組件、檢測組件及傳動組件形成一組檢測單元； 所述壓裝組件包括設置于安裝塊下方的安裝座，所述安裝座的下端固定有用于與同心圓環電極相抵擠壓的壓桿，所述安裝座與安裝塊底部之間設置有用于輔助伸縮連接的伸縮組件； 所述檢測組件包括安裝架，所述安裝架的上端滑動連接于安裝塊的底部，所述安裝架的下端通過螺紋的方式可拆卸安裝有用于與陶瓷外殼表面相抵標記的標記筆，所述圓形罩上設置有用于對各組安裝塊間距調節的調節組件，所述圓形罩上設置有用于對驅動盤轉動驅動的驅動組件，所述升降臺上設置有用于對圓形罩轉動的轉動組件。

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