北京萬應科技有限公司黃玲玲獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京萬應科技有限公司申請的專利微透鏡母模制造方法及微透鏡母模獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112346154B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201910729842.3,技術領域涉及:G02B3/00;該發明授權微透鏡母模制造方法及微透鏡母模是由黃玲玲設計研發完成,并于2019-08-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本微透鏡母模制造方法及微透鏡母模在說明書摘要公布了:本發明實施例公開了一種微透鏡母模制造方法及微透鏡母模,包括:在襯底上涂敷光刻膠;在所述光刻膠上光刻圖形,形成光刻窗口;在所述光刻窗口內電鍍預定金屬,形成金屬柱;其中,光刻窗口的直徑與金屬柱直徑相等;去除光刻膠;對金屬柱進行高溫真空回流處理,形成金屬半球;所述金屬半球降溫固化,得到微透鏡母模。利用本發明實施例不僅能夠簡化制作工藝,還可采用常規半導體加工工藝實現高精度、高密度、高占空比微透鏡母模的制造,大大降低生產成本,同時還可采用電鍍和高溫真空回流技術使金屬半球表面光滑如鏡,大大降低金屬半球的粗糙度,實現超低粗糙度制造,而且易于清潔和再生,可適應各種微透鏡母模的制造,適用性廣。
本發明授權微透鏡母模制造方法及微透鏡母模在權利要求書中公布了:1.一種微透鏡母模制造方法,其特征在于,包括: 在襯底上涂敷光刻膠:在襯底上沉積金屬粘接層;在所述金屬粘接層上沉積抗擴散層,形成金屬連接層;在金屬連接層上涂敷光刻膠; 在所述光刻膠上光刻圖形,形成光刻窗口; 在所述光刻窗口內電鍍預定金屬,形成金屬柱;其中,光刻窗口的直徑與金屬柱直徑相等,預定金屬為金錫或者錫鉛合金; 去除光刻膠; 對金屬柱進行高溫真空回流處理,形成金屬半球; 所述金屬半球降溫固化,得到微透鏡母模。
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