東京毅力科創株式會社池田信太郎獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利等離子體處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112863985B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011216079.3，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權等離子體處理裝置是由池田信太郎;花岡秀敏;田丸直樹設計研發完成，并于2020-11-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本等離子體處理裝置在說明書摘要公布了：提供一種用于對反應產物附著在設置于等離子體處理裝置上的部件之間的間隙的情況進行抑制的等離子體處理裝置。該等離子體處理裝置包括：第一部件，設置在處理容器內；以及第二部件，設置在所述第一部件的外側，其中，在所述第一部件和所述第二部件中的至少任意一者上，形成有用于使氣體向所述第一部件與所述第二部件之間的間隙流動的流路。
本發明授權等離子體處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種等離子體處理裝置，包括： 處理容器；以及 上部電極，布置在所述處理容器的上側， 所述上部電極具有 電極，具有盤形形狀，設置在所述處理容器內；以及 另一個電極，具有環形形狀，設置在所述電極的徑向外側，經由間隙與所述電極相對， 其中，所述電極和所述另一個電極中的至少任意一者具有與所述間隙連接，使氣體流入所述間隙的氣體流路， 所述間隙的尺寸在0.5mm～1mm的范圍內。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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