ASML荷蘭有限公司J·D·特德羅獲國家專利權(quán)

買專利賣專利找龍圖騰，真高效！查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉ASML荷蘭有限公司申請的專利用于極紫外光源的目標(biāo)材料儲槽獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114830832B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080087548.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H05G2/00；該發(fā)明授權(quán)用于極紫外光源的目標(biāo)材料儲槽是由J·D·特德羅設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-11-20向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本用于極紫外光源的目標(biāo)材料儲槽在說明書摘要公布了：一種用于極紫外EUV光源的裝置包括主體。該主體包括：第一結(jié)構(gòu)246，其包括第一壁；以及第二結(jié)構(gòu)248，其包括第二壁，該第二壁永久地接合到該第一壁。該主體的內(nèi)部203至少部分地由該第一壁和該第二壁限定。該第一壁包括第一金屬化材料，并且該第二壁包括第二金屬化材料，該第二金屬化材料具有與該第一金屬化材料不同的熱導(dǎo)率。該主體的該內(nèi)部被配置為流體連接到該EUV光源的目標(biāo)供應(yīng)系統(tǒng)。

本發(fā)明授權(quán)用于極紫外光源的目標(biāo)材料儲槽在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于極紫外EUV光源的裝置，所述裝置包括：主體，包括：第一結(jié)構(gòu)，包括第一壁，所述第一壁在Y方向上從第二端延伸到第一端；以及第二結(jié)構(gòu)，包括第二壁，所述第二壁在所述Y方向上從第二端延伸到第一端，其中所述第二壁的所述第二端永久地接合到所述第一壁的所述第一端，其中所述主體的內(nèi)部至少部分地由所述第一壁和所述第二壁限定，所述第一壁包括第一金屬化材料，并且所述第二壁包括第二金屬化材料，所述第二金屬化材料具有與所述第一金屬化材料不同的熱導(dǎo)率，并且其中所述主體的所述內(nèi)部被配置為流體連接到所述極紫外EUV光源的目標(biāo)供應(yīng)系統(tǒng)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

免責(zé)聲明
1、本報(bào)告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報(bào)告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報(bào)告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。

相關(guān)閱讀

龍圖騰網(wǎng)&IPTOP

設(shè)置信息完成注冊

手機(jī)號綁定多個(gè)賬號

ASML荷蘭有限公司J·D·特德羅獲國家專利權(quán)

熱門推薦

專利交易買賣與高校科技成果轉(zhuǎn)化平臺

專利交易

快速入口

知產(chǎn)工具

關(guān)于我們

咨詢服務(wù)