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龍圖騰網(wǎng)獲悉應(yīng)用材料公司申請(qǐng)的專(zhuān)利用于確定多圖案的線(xiàn)角度及旋轉(zhuǎn)的方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114981632B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202080092811.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01M11/02；該發(fā)明授權(quán)用于確定多圖案的線(xiàn)角度及旋轉(zhuǎn)的方法是由徐永安;邢嬋娟;傅晉欣;盧多維克·戈代設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-12-14向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本用于確定多圖案的線(xiàn)角度及旋轉(zhuǎn)的方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本文公開(kāi)了用于確定光柵或線(xiàn)特征的線(xiàn)角度及線(xiàn)角度旋轉(zhuǎn)的方法及設(shè)備。本公開(kāi)內(nèi)容的一個(gè)方面涉及，使用測(cè)量工具來(lái)測(cè)量第一線(xiàn)特征的坐標(biāo)點(diǎn)，從所述坐標(biāo)點(diǎn)確定所述第一線(xiàn)特征的第一斜率，及從所述第一線(xiàn)特征的所述斜率確定第一線(xiàn)角度。能重復(fù)此過(guò)程以找出相鄰于所述第一線(xiàn)特征的第二線(xiàn)特征的第二斜率。能比較所述第一線(xiàn)特征與所述第二線(xiàn)特征的斜率來(lái)找出線(xiàn)角度旋轉(zhuǎn)。所述線(xiàn)角度旋轉(zhuǎn)與設(shè)計(jì)規(guī)格進(jìn)行比較，來(lái)確定拼接品質(zhì)。

本發(fā)明授權(quán)用于確定多圖案的線(xiàn)角度及旋轉(zhuǎn)的方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種確定在波導(dǎo)中并入的光柵結(jié)構(gòu)的拼接品質(zhì)的方法，所述方法包含下列步驟： 選擇光柵結(jié)構(gòu)的視野； 使用測(cè)量工具來(lái)識(shí)別線(xiàn)特征； 沿著所述線(xiàn)特征選擇起點(diǎn)； 測(cè)量一級(jí)坐標(biāo)，所述一級(jí)坐標(biāo)包含第一x坐標(biāo)及第一y坐標(biāo)，其中所述第一x坐標(biāo)是從所述視野的邊緣到所述一級(jí)坐標(biāo)的第一距離； 測(cè)量沿著所述線(xiàn)特征的至少一個(gè)二級(jí)坐標(biāo)的坐標(biāo)，所述二級(jí)坐標(biāo)包含第二x坐標(biāo)及第二y坐標(biāo)，其中所述第二x坐標(biāo)是從所述視野的所述邊緣到所述二級(jí)坐標(biāo)的第二距離； 使用所述一級(jí)坐標(biāo)及所述二級(jí)坐標(biāo)來(lái)估計(jì)理論線(xiàn)特征；及 計(jì)算在所述理論線(xiàn)特征與參考軸之間的線(xiàn)角度測(cè)量值。

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