FEI 公司B·比伊斯獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉FEI 公司申請的專利用于獲取3D衍射數據的方法和系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113466266B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110331190.5,技術領域涉及:G01N23/20008;該發明授權用于獲取3D衍射數據的方法和系統是由B·比伊斯;A·亨斯特;Y·鄧設計研發完成,并于2021-03-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于獲取3D衍射數據的方法和系統在說明書摘要公布了:用于獲取3D衍射數據的方法和系統。通過使用第一帶電粒子束照射感興趣區域來獲取樣品在各種傾斜角度下的衍射圖案。通過使用第二帶電粒子束照射所述感興趣區域來獲取樣品圖像。通過分裂由帶電粒子源產生的帶電粒子而形成所述第一和第二帶電粒子束。
本發明授權用于獲取3D衍射數據的方法和系統在權利要求書中公布了:1.一種用帶電粒子束對樣品進行成像的方法,其包括: 將從帶電粒子源產生的帶電粒子分裂成第一帶電粒子束和第二帶電粒子束; 通過用所述第一帶電粒子束照射所述樣品的感興趣區域來獲取衍射圖案;以及 通過用第二帶電粒子束照射所述感興趣區域來獲取樣品圖像; 其中所述第一帶電粒子束和所述第二帶電粒子束以不同的入射角和不同的波束發散度照射所述感興趣區域。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人FEI 公司,其通訊地址為:美國俄勒岡州;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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