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龍圖騰網(wǎng)獲悉博魯可斯自動(dòng)化美國(guó)有限責(zé)任公司申請(qǐng)的專利襯底映射裝置及其方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116056810B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202180053513.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B08B3/00；該發(fā)明授權(quán)襯底映射裝置及其方法是由R·蘇努加托夫;R·R·王;K·謝;J·格拉西亞諾;A·懷斯;C·漢森;E·帕斯托設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-06-30向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本襯底映射裝置及其方法在說(shuō)明書摘要公布了：一種半導(dǎo)體晶圓映射裝置包括：框架，其形成與用于襯底載體的裝載站相通的晶圓裝載開口，所述襯底載體設(shè)置成保持豎直分布在襯底載體中的多于一個(gè)晶圓，以用于通過晶圓裝載開口裝載；可移動(dòng)臂，其可移動(dòng)地安裝到框架以便相對(duì)于晶圓裝載開口移動(dòng)，并且具有至少一個(gè)末端執(zhí)行器，所述至少一個(gè)末端執(zhí)行器可移動(dòng)地安裝到可移動(dòng)臂，以便通過晶圓裝載開口從襯底載體裝載晶圓；圖像采集系統(tǒng)，其包括布置在公共支承上的相機(jī)陣列，并且每個(gè)相機(jī)相對(duì)于公共支承固定，所述公共支承相對(duì)于相機(jī)陣列的每個(gè)相機(jī)靜止，其中每個(gè)相應(yīng)相機(jī)定位有視場(chǎng)，所述視場(chǎng)設(shè)置成在公共支承通過可移動(dòng)臂定位的情況下通過晶圓裝載開口觀察。

本發(fā)明授權(quán)襯底映射裝置及其方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體襯底映射裝置，包括： 框架，其形成與用于襯底載體的裝載站相通的襯底裝載開口，所述襯底載體設(shè)置成保持豎直分布在所述襯底載體中的多于一個(gè)襯底，以用于通過所述襯底裝載開口裝載； 可移動(dòng)臂，其可移動(dòng)地安裝到所述框架以便相對(duì)于所述襯底裝載開口移動(dòng)，并且具有至少一個(gè)末端執(zhí)行器，所述至少一個(gè)末端執(zhí)行器可移動(dòng)地安裝到所述可移動(dòng)臂，以便通過所述襯底裝載開口從所述襯底載體裝載襯底； 圖像采集系統(tǒng)，其包括布置在公共支承上的相機(jī)陣列，并且每個(gè)相機(jī)相對(duì)于所述公共支承固定，所述公共支承相對(duì)于所述相機(jī)陣列的每個(gè)相機(jī)靜止，其中每個(gè)相應(yīng)相機(jī)定位有視場(chǎng)，所述視場(chǎng)設(shè)置成在所述公共支承通過所述可移動(dòng)臂定位在公共位置處的情況下通過所述襯底裝載開口觀察所述襯底載體的具有用于保持所述多于一個(gè)襯底中的至少一個(gè)襯底的襯底槽的不同單獨(dú)部分，所述不同單獨(dú)部分與所述襯底載體的具有不同襯底槽的部分分離且不同，所述不同襯底槽用于保持不同于在所述公共支承位于所述公共位置處的情況下由每個(gè)其它相機(jī)觀察的所述至少一個(gè)襯底的襯底，并且在所述公共支承位于所述公共位置處的情況下通過所述相機(jī)陣列對(duì)保持在所述襯底載體中的每個(gè)襯底進(jìn)行成像；以及 連接到所述公共支承的照明源，其被配置以便在所述公共支承處于所述公共位置中的情況下通過所述襯底裝載開口照射所述襯底載體中的每個(gè)襯底的外邊緣，所述外邊緣標(biāo)示所述襯底的所述外邊緣的上邊緣邊界和下邊緣邊界，所述照明源相對(duì)于每個(gè)相機(jī)設(shè)置，使得所述外邊緣將來(lái)自所述照明源的反射的邊緣照明指向每個(gè)相機(jī)，并在所述上邊緣邊界和所述下邊緣邊界處對(duì)在所述公共支承位于所述公共位置處的情況下由每個(gè)相機(jī)通過所述襯底裝載開口觀察的背景反射光進(jìn)行光學(xué)消隱； 其中利用所述上邊緣邊界和所述下邊緣邊界以圖像對(duì)比度顯著地限定所述襯底的所述外邊緣，所述圖像對(duì)比度通過由每個(gè)相機(jī)配準(zhǔn)的邊緣反射和光學(xué)消隱的背景形成并且是在其之間形成，以在所述公共支承位于所述公共位置處的情況下對(duì)所述襯底載體中的每個(gè)襯底實(shí)行邊緣檢測(cè)。

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