華為技術有限公司吳佳豪獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉華為技術有限公司申請的專利微鏡芯片封裝結構、激光設備以及汽車獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115784144B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111063339.2,技術領域涉及:B81B7/02;該發明授權微鏡芯片封裝結構、激光設備以及汽車是由吳佳豪;曾理;周吳設計研發完成,并于2021-09-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本微鏡芯片封裝結構、激光設備以及汽車在說明書摘要公布了:本申請實施例提供一種微鏡芯片封裝結構、激光設備和汽車。涉及微機電技術領域。主要用于提供一種能夠抑制微鏡芯片振動幅度的微鏡芯片封裝結構。該微鏡芯片封裝結構包括微鏡芯片、堆疊的第一襯底和第二襯底;微鏡芯片設置在第一襯底的背離第二襯底的一側;微鏡芯片包括框架、可動部件和第一扭轉臂,可動部件通過第一扭轉臂與框架連接;第一襯底包括隔振平臺、彈性梁和支撐框,微鏡芯片設置在隔振平臺上,隔振平臺通過彈性梁與支撐框連接;支撐框與第二襯底固定連接,隔振平臺和第二襯底之間形成有間隙;隔振平臺和第二襯底上均存在鏤空區域,鏤空區域與可動部件相對。該微鏡芯片封裝結構是一種二自由度系統,用于隔振,提升微鏡芯片性能。
本發明授權微鏡芯片封裝結構、激光設備以及汽車在權利要求書中公布了:1.一種微鏡芯片封裝結構,其特征在于,包括: 微鏡芯片; 堆疊的第一襯底和第二襯底,所述微鏡芯片設置在所述第一襯底的背離所述第二襯底的一側; 其中,所述微鏡芯片包括:框架、可動部件和第一扭轉臂,所述可動部件通過所述第一扭轉臂與所述框架連接; 所述第一襯底包括隔振平臺、彈性梁和支撐框,所述微鏡芯片設置在所述隔振平臺上,所述隔振平臺通過所述彈性梁與所述支撐框連接; 所述支撐框與所述第二襯底固定連接,所述隔振平臺和所述第二襯底之間形成有間隙; 所述隔振平臺和所述第二襯底上均存在鏤空區域,所述鏤空區域與所述可動部件相對,以容納活動的所述可動部件。
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