拉普拉斯(無錫)半導體科技有限公司林佳繼獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉拉普拉斯(無錫)半導體科技有限公司申請的專利一種硅片上下料系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114242633B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111354801.4，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權一種硅片上下料系統是由林佳繼;周歡;時祥設計研發完成，并于2021-11-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種硅片上下料系統在說明書摘要公布了：本發明公開了一種硅片上下料系統,包括導片機裝置、硅片翻轉裝置和搬運裝置，導片機裝置控制硅片流轉至硅片翻轉裝置，并控制花籃的內部流轉，硅片翻轉裝置控制對硅片的吸取、翻轉以及分合，搬運裝置控制硅片在主機與硅片翻轉裝置間的流轉，本發明采用傳感器對花籃滿缺料狀態進行檢測，實現了對硅片數量的精細控制，本發明采用對射傳感器對花籃內硅片余量進行檢測，同時采用朝向傳感器對花籃朝向進行檢測，防止花籃輸送時發生反放錯誤，提高設備的自動化控制程度，本發明實現了硅片由導片機裝置到主機的上料流程以及由主機到導片機裝置的下料流程，實現了硅片循環往復的上下料過程。
本發明授權一種硅片上下料系統在權利要求書中公布了：1.一種硅片上下料系統,其特征在于：包括導片機裝置、硅片翻轉裝置和搬運裝置，導片機裝置包括上料導片組件、下料導片組件以及連接上料導片組件和下料導片組件的橫移輸送機構，上料導片組件控制硅片上料工序，下料導片組件控制硅片下料工序，橫移輸送機構對上料導片組件和下料導片組件的花籃進行流轉，硅片翻轉裝置包括硅片翻轉機構、硅片橫移機構以及硅片偏移機構，硅片橫移機構和硅片偏移機構控制硅片翻轉機構的移動，硅片翻轉機構控制對硅片的吸取以及翻轉，搬運裝置控制硅片在主機與硅片翻轉裝置間的流轉，硅片翻轉機構包括吸取組件，吸取組件包括翻轉電機和吸取構件，翻轉電機和吸取構件控制硅片翻轉，吸取構件設置有兩組，一組吸取構件包括第一吸取板和吸盤，另一組吸取構件包括第二吸取板和吸盤，第二吸取板相對于第一吸取板發生水平翻轉。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人拉普拉斯(無錫)半導體科技有限公司，其通訊地址為：214192 江蘇省無錫市錫山區錫北鎮錫港路張涇東段209號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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