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龍圖騰網(wǎng)獲悉江蘇晉譽(yù)達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司申請(qǐng)的專利一種自動(dòng)去膠剝離機(jī)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114188246B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111487747.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)一種自動(dòng)去膠剝離機(jī)是由劉毅;黃鵬飛;蔣磊設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-12-08向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種自動(dòng)去膠剝離機(jī)在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種自動(dòng)去膠剝離機(jī)，包括機(jī)架；用于放置晶圓盒的載片臺(tái)；安裝于機(jī)架上的噴淋去膠剝離裝置，用于對(duì)晶圓上下表面噴淋去膠；安裝于機(jī)架上的浸泡去膠剝離裝置，用于將晶圓浸泡在剝離液中去膠；安裝于機(jī)架上的清洗裝置，用于將晶圓上下表面清洗；安裝于機(jī)架上的晶圓轉(zhuǎn)移手臂，用于移栽晶圓，所述載片臺(tái)、噴淋去膠剝離裝置、浸泡去膠剝離裝置和清洗裝置分別位于晶圓轉(zhuǎn)移手臂的外圍。該自動(dòng)去膠剝離機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓的浸泡去膠、噴淋去膠和清洗，從而提高了去膠的效率和去膠效果。

本發(fā)明授權(quán)一種自動(dòng)去膠剝離機(jī)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種自動(dòng)去膠剝離機(jī)，其特征在于：包括： 機(jī)架； 用于放置晶圓盒的載片臺(tái)； 安裝于機(jī)架上的噴淋去膠剝離裝置，用于對(duì)晶圓上下表面噴淋去膠； 安裝于機(jī)架上的浸泡去膠剝離裝置，用于將晶圓浸泡在剝離液中去膠； 安裝于機(jī)架上的清洗裝置，用于將晶圓上下表面清洗； 安裝于機(jī)架上的晶圓轉(zhuǎn)移手臂，用于移栽晶圓，所述載片臺(tái)、噴淋去膠剝離裝置、浸泡去膠剝離裝置和清洗裝置分別位于晶圓轉(zhuǎn)移手臂的外圍；所述浸泡去膠剝離裝置包括浸泡機(jī)座，所述浸泡機(jī)座上設(shè)置有浸泡腔體，所述浸泡腔體上設(shè)置有方便晶圓轉(zhuǎn)移手臂進(jìn)出料的操作窗口，所述浸泡機(jī)座上位于浸泡腔體的外部設(shè)置有浸泡底座，所述浸泡底座上豎直升降安裝有浸泡升降座，該浸泡升降座由第一升降動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)，所述浸泡升降座上設(shè)置有浸泡安裝座，該浸泡安裝座設(shè)置有處于浸泡腔體上方的浸泡安裝板，所述浸泡安裝板上安裝有用于懸掛并且調(diào)節(jié)花籃角度的懸掛調(diào)節(jié)裝置，所述懸掛調(diào)節(jié)裝置的下端伸入到浸泡腔體內(nèi)懸掛浸泡腔體內(nèi)的花籃，所述浸泡腔體上設(shè)置有與剝離液供應(yīng)系統(tǒng)連通的進(jìn)液管，浸泡腔體內(nèi)設(shè)置有用于加熱剝離液的加熱裝置，所述浸泡腔體上位于操作窗口處活動(dòng)安裝有倉(cāng)門，所述浸泡腔體上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)所述倉(cāng)門關(guān)閉或打開(kāi)的開(kāi)閉動(dòng)力裝置；所述懸掛調(diào)節(jié)裝置包括平行的第一懸掛桿和第二懸掛桿，所述第一懸掛桿的上端固定在浸泡安裝板上，所述第一懸掛桿的下端鉸接在花籃的上端一側(cè)，所述第二懸掛桿軸向滑動(dòng)安裝于浸泡安裝板上且由軸向動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)，所述第二懸掛桿的下端鉸接在花籃上端的另一側(cè)；所述軸向動(dòng)力裝置包括固定于浸泡安裝板上的無(wú)桿電缸，所述無(wú)桿電缸的滑動(dòng)部件的滑動(dòng)方向?yàn)樨Q直方向，所述無(wú)桿電缸的動(dòng)力端通過(guò)浸泡連接座與第二懸掛桿的上端連接，所述浸泡連接座包括L形的浸泡連接板，所述浸泡連接板的一個(gè)板部通過(guò)螺栓固定在無(wú)桿電缸的滑動(dòng)部件上，所述浸泡連接板的另一個(gè)板部的下端通過(guò)螺栓連接有浸泡連接套，所述浸泡連接套上螺紋連接有圓柱螺套，所述第二懸掛桿的上端設(shè)置成球頭部，所述圓柱螺套上設(shè)置有方便球頭部連接的球形內(nèi)孔，所述球頭部安裝于圓柱螺套的球形內(nèi)孔內(nèi)。

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