中國石油化工股份有限公司;中國石油化工股份有限公司大連石油化工研究院趙利民獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國石油化工股份有限公司;中國石油化工股份有限公司大連石油化工研究院申請的專利CVD金剛石膜生長裝置及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116479399B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210037525.7，技術領域涉及：C23C16/27；該發明授權CVD金剛石膜生長裝置及方法是由趙利民;張長安;王博;張舒冬;袁俊設計研發完成，并于2022-01-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本CVD金剛石膜生長裝置及方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種CVD金剛石膜生長裝置及方法，該裝置包括：反應腔，其為圓柱形空腔且沿空腔周向均勻設置多個獨立控制的氣體入口；該氣體入口通入氫氣和含碳氣體的混合氣，或，純氫氣；襯底，其作為金剛石膜生長基體，該基體呈扇形且為多個并環形布置；熱絲陣列，其由多個熱絲組件組成，熱絲組件數量、形狀與襯底相適配；該熱絲組件固定在反應腔內所述襯底的上方；冷卻單元，其上表面與襯底貼合且整體可升降和旋轉，用于在膜生長過程中控制襯底的溫度。本發明的裝置及方法既能解決熱絲積碳的問題，又能保證襯底表面的溫度場和氣流場的均勻，可有效改善金剛石膜的質量。
本發明授權CVD金剛石膜生長裝置及方法在權利要求書中公布了：1.一種CVD金剛石膜生長裝置，其特征在于，包括： 反應腔，其為圓柱形空腔且沿所述空腔周向均勻設置多個獨立控制的氣體入口；該氣體入口通入氫氣和含碳氣體的混合氣，或，純氫氣；所述反應腔設置多于2個的偶數個分區，每個分區通過氣體分布板分隔且對應一個氣體入口；在冷卻單元的連續旋轉過程中，在一段預設時間內，某一分區和對側分區的所述氣體入口由通入氫氣和含碳氣體的混合氣切換為通入純氫氣； 襯底，其作為金剛石膜生長基體，該基體呈扇形且為多個并環形布置； 熱絲陣列，其由多個熱絲組件組成，熱絲組件數量、形狀與所述襯底相適配；該熱絲組件固定在所述反應腔內所述襯底的上方； 冷卻單元，其上表面與所述襯底貼合且整體可升降和旋轉，用于在膜生長過程中控制所述襯底的溫度； 所述裝置沉積出的金剛石膜層為依次并反復生長的晶粒大小不同的兩層。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國石油化工股份有限公司;中國石油化工股份有限公司大連石油化工研究院，其通訊地址為：100020 北京市朝陽區朝陽門北大街22號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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