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龍圖騰網獲悉中國電子科技集團公司第十三研究所申請的專利晶圓快速預對準方法、裝置、電子設備及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114549599B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210038925.X，技術領域涉及：G06T7/33；該發明授權晶圓快速預對準方法、裝置、電子設備及存儲介質是由文黎波;王秀海;趙英偉;吳愛華;翟玉衛;郝曉亮;馬培圣;曹健;張文雅設計研發完成，并于2022-01-13向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶圓快速預對準方法、裝置、電子設備及存儲介質在說明書摘要公布了：本發明提供一種晶圓快速預對準方法、裝置、電子設備及存儲介質。該方法包括：對目標晶圓的灰度圖像進行邊緣檢測，獲得目標晶圓的輪廓二值圖像；降低輪廓二值圖像的分辨率，獲得對應的低分辨率圖像；對低分辨率圖像中的輪廓進行直線檢測，獲得低分辨率圖像中對應的平邊端點粗坐標；基于平邊端點粗坐標在輪廓二值圖像中對應的預設鄰域圖像進行直線檢測，獲得輪廓二值圖像中對應的平邊端點精坐標；根據平邊端點精坐標對目標晶圓的輪廓進行圓擬合，獲得輪廓對應的圓心坐標和平邊旋轉角，以基于圓心坐標和平邊旋轉角對目標晶圓進行對準。本發明能夠有效提高直線檢測獲得平邊端點坐標的速度，進而縮短晶圓預對準時間，提高晶圓預對準的實時性和效率。

本發明授權晶圓快速預對準方法、裝置、電子設備及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種晶圓快速預對準方法，其特征在于，包括： 對目標晶圓的灰度圖像進行邊緣檢測，獲得所述目標晶圓的輪廓二值圖像； 降低所述輪廓二值圖像的分辨率，獲得所述目標晶圓的輪廓對應的低分辨率圖像； 對所述低分辨率圖像中的所述輪廓進行直線檢測，獲得所述低分辨率圖像中的輪廓的缺口對應的平邊端點粗坐標； 基于所述平邊端點粗坐標在所述輪廓二值圖像中對應的預設鄰域圖像進行直線檢測，獲得所述輪廓二值圖像中的輪廓的缺口對應的平邊端點精坐標； 根據所述平邊端點精坐標對所述輪廓進行圓擬合，獲得所述輪廓對應的圓心坐標和平邊旋轉角，以便基于所述圓心坐標和所述平邊旋轉角對所述目標晶圓進行對準； 所述降低所述輪廓二值圖像的分辨率，獲得所述目標晶圓的輪廓對應的低分辨率圖像，包括： 將所述輪廓二值圖像中的多個像素合并為一個像素塊，并將合并后的輪廓二值圖像確定為所述目標晶圓的輪廓對應的低分辨率圖像； 所述基于所述平邊端點粗坐標在所述輪廓二值圖像中對應的預設鄰域圖像進行直線檢測，獲得所述輪廓二值圖像中的輪廓的缺口對應的平邊端點精坐標，包括： 將所述平邊端點粗坐標對應到所述輪廓二值圖像中，獲得所述平邊端點粗坐標在所述輪廓二值圖像中的對應端點坐標； 基于所述輪廓二值圖像中所述對應端點坐標對應的像素的預設鄰域，獲得預設鄰域像素圖像； 對所述預設鄰域像素圖像進行直線檢測，獲得所述輪廓二值圖像中的輪廓的缺口對應的平邊端點精坐標。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國電子科技集團公司第十三研究所，其通訊地址為：050051 河北省石家莊市合作路113號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。