杰宜斯科技有限公司白承大獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉杰宜斯科技有限公司申請的專利基板清洗裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115223915B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210424529.0，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權基板清洗裝置是由白承大;金成燁;金南辰設計研發完成，并于2022-04-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板清洗裝置在說明書摘要公布了：本發明的涉及基板清洗裝置，該基板清洗裝置的特征在于，包括：真空卡盤部，用于放置晶圓；以及超聲波清洗模塊，用于向晶圓噴射清洗液，向清洗液施加超聲波來使清洗液發生超聲波振動。
本發明授權基板清洗裝置在權利要求書中公布了：1.一種基板清洗裝置，其特征在于，包括： 真空卡盤部，用于放置晶圓；以及 超聲波清洗模塊，用于向所述晶圓噴射清洗液，向清洗液施加超聲波來使清洗液發生超聲波振動， 所述超聲波清洗模塊包括超聲波清洗部，所述超聲波清洗部用于向所述晶圓噴射清洗液，并向所述清洗液施加超聲波， 所述超聲波清洗部包括： 超聲波產生部，配置在清洗頭部的內部，以向所述清洗液施加超聲波；以及 清洗液噴射部，配置在所述清洗頭部的內部，以向所述晶圓噴射所述清洗液，并且與所述超聲波產生部隔開配置， 所述超聲波清洗模塊能夠將所述清洗頭部中配置所述清洗液噴射部處的下表面部部位的高度和所述清洗頭部中配置所述超聲波產生部處的下表面部部位的高度調整為不同高度，所述清洗液噴射部和所述超聲波產生部位于與所述晶圓的表面距離不同處，所述清洗頭部中配置所述超聲波產生部處的下表面部的表面距離所述晶圓的表面更近。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人杰宜斯科技有限公司，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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