蕪湖通潮精密機械股份有限公司趙浩獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉蕪湖通潮精密機械股份有限公司申請的專利一種干刻機臺下電極及其制造工藝方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114743857B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210548211.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)一種干刻機臺下電極及其制造工藝方法是由趙浩;何新玉;劉其貴設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-05-18向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種干刻機臺下電極及其制造工藝方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種干刻機臺下電極，包括下電極基體、鈦棒，以及設(shè)置在下電極基體與鈦棒之間的陶瓷棒；鈦棒的端部與鎢層接觸；在鈦棒與介質(zhì)層接觸的一端，電極基體與陶瓷棒相接觸的端部均設(shè)置倒角。本發(fā)明還公開了該下電極的制造工藝方法。采用上述技術(shù)方案，能夠有效避免直流電極柱鑲嵌時形成間隙等缺陷，保證后續(xù)絕緣層良好結(jié)合，耐擊穿電壓＞6000V以上，可有效滿足高世代和高制程面板刻蝕設(shè)備的需求。
本發(fā)明授權(quán)一種干刻機臺下電極及其制造工藝方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種干刻機臺下電極，包括下電極基體4、鈦棒1，以及設(shè)置在下電極基體4與鈦棒1之間的陶瓷棒2；所述的鈦棒1的端部與鎢層9接觸；在所述的鈦棒1與鎢層9接觸的一端，所述的電極基體4與陶瓷棒2相接觸的端部均設(shè)置倒角； 所述的倒角為R0.5～R1.5；在所述的倒角內(nèi)，設(shè)置致密Al2O3涂層6； 在所述的電極基體4內(nèi)孔與陶瓷棒2之間的間隙5中，設(shè)置真空密封膠7； 所述的鈦棒1與鎢層9接觸的相反一端，所述的鈦棒1與塑料端蓋3通過環(huán)氧樹脂鑲嵌膠方式進行裝配。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人蕪湖通潮精密機械股份有限公司，其通訊地址為：241000 安徽省蕪湖市長江大橋綜合經(jīng)濟開發(fā)區(qū)泥埠路1號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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