上海精測半導體技術有限公司劉世元獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海精測半導體技術有限公司申請的專利一種計算相位成像方法及系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115436404B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210933666.7,技術領域涉及:G01N23/20;該發明授權一種計算相位成像方法及系統是由劉世元;谷洪剛;陳創創;李仲禹設計研發完成,并于2022-08-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種計算相位成像方法及系統在說明書摘要公布了:本發明提供一種計算相位成像方法及系統,采集照明光束入射樣品后的包含噪聲的遠場衍射光強,采用相干衍射成像方法對樣品和照明光束復振幅信息進行迭代重構,對迭代過程施加動態激活函數,用于抑制噪聲對計算收斂的擾動,具備跳出局部最優陷阱能力,最終獲得全局最優解。本發明解決了現有相位計算成像方法在噪聲擾動下成像分辨率損失嚴重、算法不收斂等技術問題。
本發明授權一種計算相位成像方法及系統在權利要求書中公布了:1.一種計算相位成像方法,其特征在于,包括: 步驟1,基于照明光束及所述照明光束入射到樣品的當前待測位置,獲取所述樣品的近場出射波分布和遠場衍射光強分布; 步驟2,基于所述遠場衍射光強分布,對所述近場出射波分布進行迭代求解,獲取每一次迭代更新后當前待測位置的樣品函數和照明函數; 步驟3,基于所述每一次迭代更新后當前待測位置的樣品函數和照明函數,計算每一次迭代更新后的出射波增量梯度殘差,當小于設定閾值時,執行步驟4;否則,執行步驟2; 步驟4,基于動態正則函數對步驟2中獲取的迭代更新后當前待測位置的樣品函數和照明函數進行優化,基于優化后的樣品函數和照明函數,重復執行步驟2至步驟4,直至所述出射波增量梯度殘差和迭代更新后的遠場衍射光強分布與步驟1中所述遠場衍射光強分布之間的均方差MSE均小于設定閾值,迭代終止,求得當前待測位置的樣品函數和照明函數; 其中,所述步驟4中,基于動態正則函數對步驟2中獲取的迭代更新后當前待測位置的樣品函數和照明函數進行優化,包括: 根據獲取的迭代更新后當前待測位置的樣品函數和照明函數、迭代更新后的近場出射波分布和更新前的近場出射波分布,基于所述動態正則函數,對所述迭代更新后當前待測位置的樣品函數和照明函數進行優化: 其中: 其中,和為迭代更新前的樣品函數和照明函數,和分別為優化后的當前待測位置的樣品函數和照明函數,是指數滑動平均系數,ξ和η是函數的更新步長,是激活函數,n為當前迭代次數,和分別是和的更新權重因子,取值范圍為0,1的區間常數,是重塑函數,是生成隨機數矩陣函數。
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