細美事有限公司楊鎮佑獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉細美事有限公司申請的專利捕集裝置和包括其的基板處理裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116061574B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211174956.4,技術領域涉及:B41J3/407;該發明授權捕集裝置和包括其的基板處理裝置是由楊鎮佑設計研發完成,并于2022-09-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本捕集裝置和包括其的基板處理裝置在說明書摘要公布了:提供了一種能夠穩定地控制彎液面位置的基板處理裝置。該基板處理裝置包括:頭單元,用于排放液態化學品;貯存器,用于貯存液態化學品,并向頭單元供應液態化學品;壓力調節單元,用于調節貯存器內部的壓力;以及捕集單元,布置在貯存器和壓力調節單元之間,并用于捕集從貯存器中產生的霧氣。
本發明授權捕集裝置和包括其的基板處理裝置在權利要求書中公布了:1.一種基板處理裝置,包括: 頭單元,用于排放液態化學品; 貯存器,用于貯存所述液態化學品,并向所述頭單元供應所述液態化學品; 壓力調節單元,用于調節所述貯存器內部的壓力;以及 捕集單元,布置在所述貯存器和所述壓力調節單元之間,并捕集從所述貯存器中產生的霧氣, 所述捕集單元包括: 主體; 第一管線,設置在所述主體內,與所述貯存器連接,并沿第一方向延伸; 第二管線,設置在所述主體內,與所述壓力調節單元連接,并沿第二方向延伸; 第三管線,設置成從所述主體的上表面貫穿所述第一管線和所述第二管線; 捕集層,設置在所述第一管線的內壁或所述第二管線的內壁上,并用于捕集所述霧氣;以及 蓋,設置于所述主體的上表面,并用于打開或封閉所述第三管線的一側。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人細美事有限公司,其通訊地址為:韓國忠清南道;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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