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龍圖騰網獲悉南京屹立芯創半導體科技有限公司申請的專利壓膜結構、壓膜系統及壓膜方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115483138B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211227113.6，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權壓膜結構、壓膜系統及壓膜方法是由巫碧勤;林盛裕;張景南;彭俊昇;萬航設計研發完成，并于2022-10-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本壓膜結構、壓膜系統及壓膜方法在說明書摘要公布了：本申請涉及半導體技術領域，具體公開一種壓膜結構、壓膜系統及壓膜方法。結構包括殼體、載臺、撓性件、氣體管路及控制器。殼體內部具有第一腔室和第二腔室；載臺設置于第一腔室內；撓性件連接于第二腔室，并與第二腔室合圍形成一密閉空間，撓性件適于受到密閉空間內的壓力而朝向載臺膨脹；氣體管路連通密閉空間；控制器用于在一次壓膜過程中對密閉空間內的壓力進行至少兩次循環控制，單次循環控制包括控制氣體經氣體管路對密閉空間加壓，保持恒定壓力達到預設時長后再降壓。上述多段加壓壓膜的方式可對待壓合膜與基材進行多次壓合，可有效提高壓合效果，尤其對高深寬比孔洞具有良好的填覆效果，進而提高了產品性能和可靠性。

本發明授權壓膜結構、壓膜系統及壓膜方法在權利要求書中公布了：1.一種壓膜系統，其特征在于，包括壓膜結構、待壓合膜以及基材；所述基材為高深寬比孔洞結構，所述壓膜結構包括： 殼體，內部具有第一腔室和第二腔室，所述待壓合膜鋪設于所述第一腔室面向所述第二腔室的一側表面； 載臺，設置于所述第一腔室內，所述基材設置于所述載臺上；所述載臺連接有傳動機構，傳動機構能夠帶動載臺上升或下降，以調整載臺上基材的位置； 撓性件，連接于所述第二腔室，并與所述第二腔室合圍形成一密閉空間，所述撓性件適于受到所述密閉空間內的壓力而朝向所述載臺膨脹，以將所述待壓合膜擠壓至所述基材上； 氣體管路，連通所述密閉空間；氣體管路包括進排氣管路和抽真空管路，進排氣管路包括進氣端、排氣閥、第一開關閥，第一開關閥經管路連通密閉空間，排氣閥包括第一端、第二端和第三端，第一端連接進氣端，第二端連接第一開關閥，第三端為排氣端，當氣體由進氣端進入第一端時，氣體由第一端經排氣閥內部進入第二端；當密閉空間內的氣體經第一開關閥進入第二端時，氣體由第二端經排氣閥內部進入第三端以排出，抽真空管路包括抽氣端、第二開關閥以及第三開關閥，抽氣端經第二開關閥連通密閉空間，同時經第三開關閥連通第一腔室； 控制器，電性連接所述氣體管路，用于在一次壓膜過程中對所述密閉空間內的壓力進行至少兩次循環控制，單次所述循環控制包括控制氣體經氣體管路對密閉空間加壓，保持恒定壓力達到預設時長后再降壓。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人南京屹立芯創半導體科技有限公司，其通訊地址為：211500 江蘇省南京市江北新區星火北路11號1樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。