應用材料公司蘇斯?jié)h特·S·科希特獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉應用材料公司申請的專利可與集成裝載鎖定機構(gòu)一起使用的工廠接口機器人獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN117321752B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202280034876.0,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/677;該發(fā)明授權(quán)可與集成裝載鎖定機構(gòu)一起使用的工廠接口機器人是由蘇斯?jié)h特·S·科希特;保羅·B·路透;大衛(wèi)·菲利普斯;雅各布·紐曼;安德魯·J·康斯坦特;邁克爾·R·賴斯;謝伊·阿薩夫;斯里尼瓦斯·波沙特拉哈利·戈帕拉克里希納;德文德拉·錢納帕·霍利安納瓦爾;道格拉斯·B·鮑姆加滕;阿倫庫馬爾·拉馬查德拉亞;納拉亞南·拉馬錢德蘭設(shè)計研發(fā)完成,并于2022-10-11向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本可與集成裝載鎖定機構(gòu)一起使用的工廠接口機器人在說明書摘要公布了:用于電子裝置制造系統(tǒng)的工廠接口可包括設(shè)置在此工廠接口的內(nèi)部空間內(nèi)的裝載鎖定機構(gòu)及設(shè)置在此工廠接口的此內(nèi)部空間內(nèi)的工廠接口機器人。此工廠接口機器人可被配置為在第一組基板載體與第一裝載鎖定機構(gòu)之間傳遞基板。此工廠接口機器人可包括豎直塔、多個連桿及終端受動器。
本發(fā)明授權(quán)可與集成裝載鎖定機構(gòu)一起使用的工廠接口機器人在權(quán)利要求書中公布了:1.一種用于電子裝置制造系統(tǒng)的工廠接口,所述工廠接口包括: 第一裝載鎖定機構(gòu),設(shè)置在所述工廠接口的內(nèi)部空間內(nèi);和 第一工廠接口機器人,設(shè)置在所述工廠接口的所述內(nèi)部空間內(nèi),其中: 所述第一工廠接口機器人被配置為在第一組基板載體與所述第一裝載鎖定機構(gòu)之間傳遞基板;并且 所述工廠接口機器人包括豎直塔、多個連桿及終端受動器,其中所述豎直塔包含豎直驅(qū)動機構(gòu),所述豎直驅(qū)動機構(gòu)被配置為向所述多個連桿提供在z軸上的線性移動,并且所述多個連桿中的近端連桿耦接到所述豎直驅(qū)動機構(gòu),和 通過區(qū)域,設(shè)置在所述工廠接口的所述內(nèi)部空間內(nèi),位于所述第一裝載鎖定機構(gòu)上方或下方,其中所述第一工廠接口機器人被配置為經(jīng)由所述通過區(qū)域?qū)⒒鍌鬟f到第二工廠接口機器人。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人應用材料公司,其通訊地址為:美國加利福尼亞州;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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