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龍圖騰網獲悉廣東凱福電子科技有限公司申請的專利一種直線電機高精度位移平臺獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116800046B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310716034.X，技術領域涉及：H02K41/02；該發明授權一種直線電機高精度位移平臺是由張瑋設計研發完成，并于2023-06-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種直線電機高精度位移平臺在說明書摘要公布了：本發明公開了一種直線電機高精度位移平臺，屬于精密工程技術領域。一種直線電機高精度位移平臺，包括：下臺面，所述下臺面上側通過移動模塊區連接有上臺面；本發明中，通過在下臺面、上臺面之間的移動模塊區內設置X向第一移動模塊、X向第二移動模塊、Y向移動模塊搭配三套直線電機組件，以交叉滾柱導軌和盤面軸承一導向，一套一體式從動模塊為從動，搭配三個高分辨率光柵編碼器，實現了±0.3μm內的重復精度，且配合外部設備激光干涉儀的運用可以大幅度提升該位移平臺的定位精度，使其能適用于科學研究、工業制造和精密儀器的制造和校準。

本發明授權一種直線電機高精度位移平臺在權利要求書中公布了：1.一種直線電機高精度位移平臺，其特征在于，包括：下臺面1，所述下臺面1上側通過移動模塊區7連接有上臺面2，所述移動模塊區7上沿同一水平面依次設置有X向第一移動模塊3、X向第二移動模塊4、Y向移動模塊5、一體式從動模塊6，所述X向第一移動模塊3、X向第二移動模塊4、Y向移動模塊5用于驅動移動模塊區7進行水平位置的精確移動； 所述X向第一移動模塊3、X向第二移動模塊4、Y向移動模塊5上均設置有底座一31，所述底座一31上部設置有直線電機組件9、光柵編碼器10，所述光柵編碼器10位于直線電機組件9的側邊，所述底座一31上側滑動連接有中間U型塊32，所述中間U型塊32上側滑動連接有頂蓋33，所述頂蓋33上側通過螺栓固定連接有盤面軸承一34，所述盤面軸承一34通過螺栓固定連接于上臺面2的下側，所述中間U型塊32與底座一31的連接部位、頂蓋33與中間U型塊32的連接部位均通過設置導向裝置二8實現滑動連接，且所述頂蓋33、中間U型塊32的滑動方向相垂直； 所述導向裝置二8上設置有導軌一81、交叉滾柱82、導軌二83，所述交叉滾柱82位于導軌一81與導軌二83之間用于實現各組塊間連接部位的相對滑動； 所述中間U型塊32的內側設置有預留槽12，用于對所述光柵編碼器10的安裝固定預留一定的空間； X向第一移動模塊3、X向第二移動模塊4、Y向移動模塊5上對應的直線電機組件9、光柵編碼器10與外部的控制系統進行電性連接，并設定好相應的控制程序，利用控制系統分別啟動X向第一移動模塊3、X向第二移動模塊4、Y向移動模塊5上的直線電機組件9，以導向裝置二8上的交叉滾柱82與導軌一81、導軌二83滑動配合，結合盤面軸承一34的轉動配合為導向，實現了對上臺面2在水平位置上的精確移動，其中，一體式從動模塊6上的盤面軸承二64及導向裝置一65相配合，起到了從屬配合上臺面2移動的作用，搭配X向第一移動模塊3、X向第二移動模塊4、Y向移動模塊5上的三組高分辨率光柵編碼器10，在直線電機組件9受到電流時，在推力子中產生磁場，光柵編碼器10測量推力子的位置和速度，它們輸出的數字信號被用于控制直線電機組件9的運動，通過測量線性位置輸出，能夠精確測量直線電機組件9的推力位置，并在此基礎上對直線電機組件9進行位置和速度反饋控制，通過這種方式，光柵編碼器10和直線電機組件9的配合使用，可實現高精度、高速度、高精度的線性運動，能夠實現±0.3μm重復精度，最后，操作人員還可借助使用外部設備激光干涉儀，利用激光的相干性和干涉現象來測量物體的位移精度，從而大幅度提升了該位移平臺的定位精度。

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