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龍圖騰網(wǎng)獲悉杭州澤達(dá)半導(dǎo)體有限公司申請(qǐng)的專利一種基于肖特基接觸檢測(cè)半導(dǎo)體側(cè)壁質(zhì)量的方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119314888B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202310847112.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/66；該發(fā)明授權(quán)一種基于肖特基接觸檢測(cè)半導(dǎo)體側(cè)壁質(zhì)量的方法是由木村有;李俊波設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-07-11向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種基于肖特基接觸檢測(cè)半導(dǎo)體側(cè)壁質(zhì)量的方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，公開(kāi)了一種基于肖特基接觸檢測(cè)半導(dǎo)體側(cè)壁質(zhì)量的方法，包括準(zhǔn)備至少兩個(gè)基于肖特基接觸的待檢測(cè)部件；待檢測(cè)部件包括具有凸臺(tái)的半導(dǎo)體襯底和肖特基金屬層，在各待檢測(cè)部件中，位于凸臺(tái)側(cè)壁的肖特金屬層的厚度相等，長(zhǎng)度不相等；采集各個(gè)待檢測(cè)部件在施加測(cè)量電壓下的測(cè)量電流；測(cè)量電壓至少為兩個(gè)不同的電壓；測(cè)量電流為流經(jīng)位于凸臺(tái)側(cè)壁的肖特金屬層的電流；在同一測(cè)量電壓下，根據(jù)位于凸臺(tái)側(cè)壁的肖特金屬層的長(zhǎng)度、及對(duì)應(yīng)的測(cè)量電流，確定目標(biāo)電流；目標(biāo)電流為位于凸臺(tái)側(cè)壁的肖特金屬層的長(zhǎng)度為零時(shí)的電流；根據(jù)目標(biāo)電流及對(duì)應(yīng)的測(cè)量電壓，確定導(dǎo)通電壓；根據(jù)導(dǎo)通電壓評(píng)估凸臺(tái)側(cè)壁的質(zhì)量。本申請(qǐng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)側(cè)壁的質(zhì)量檢測(cè)。

本發(fā)明授權(quán)一種基于肖特基接觸檢測(cè)半導(dǎo)體側(cè)壁質(zhì)量的方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種基于肖特基接觸檢測(cè)半導(dǎo)體側(cè)壁質(zhì)量的方法，其特征在于，包括： 準(zhǔn)備至少兩個(gè)基于肖特基接觸的待檢測(cè)部件；所述待檢測(cè)部件包括具有凸臺(tái)的半導(dǎo)體襯底和肖特基金屬層，在各個(gè)所述待檢測(cè)部件中，位于凸臺(tái)側(cè)壁的所述肖特基金屬層的厚度相等，且長(zhǎng)度不相等； 采集各個(gè)所述待檢測(cè)部件在施加測(cè)量電壓下的測(cè)量電流；所述測(cè)量電壓至少為兩個(gè)不同的電壓；所述測(cè)量電流為流經(jīng)位于所述凸臺(tái)側(cè)壁的所述肖特基金屬層的電流； 在同一所述測(cè)量電壓下，根據(jù)位于所述凸臺(tái)側(cè)壁的所述肖特基金屬層的長(zhǎng)度、以及對(duì)應(yīng)的所述測(cè)量電流，確定目標(biāo)電流；所述目標(biāo)電流為位于所述凸臺(tái)側(cè)壁的所述肖特基金屬層的長(zhǎng)度為零時(shí)，流經(jīng)所述凸臺(tái)側(cè)壁的電流； 根據(jù)所述目標(biāo)電流以及對(duì)應(yīng)的所述測(cè)量電壓，確定導(dǎo)通電壓； 根據(jù)所述導(dǎo)通電壓評(píng)估所述半導(dǎo)體襯底上所述凸臺(tái)側(cè)壁的質(zhì)量； 采集各個(gè)所述待檢測(cè)部件在施加測(cè)量電壓下的測(cè)量電流包括： 在位于凸臺(tái)上表面的所述肖特基金屬層和歐姆金屬層之間施加所述測(cè)量電壓； 采集所述測(cè)量電流； 根據(jù)位于所述凸臺(tái)側(cè)壁的所述肖特基金屬層的長(zhǎng)度、以及對(duì)應(yīng)的所述測(cè)量電流，確定目標(biāo)電流包括： 根據(jù)位于所述凸臺(tái)側(cè)壁的所述肖特基金屬層的長(zhǎng)度、以及對(duì)應(yīng)的所述測(cè)量電流，確定測(cè)量電流與長(zhǎng)度關(guān)系； 根據(jù)所述測(cè)量電流與長(zhǎng)度關(guān)系，確定所述目標(biāo)電流。

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