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龍圖騰網(wǎng)獲悉新亞新智能科技(南通)有限公司申請的專利一種晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN117316861B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202311354074.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)是由賀小華;龍慧梅設(shè)計研發(fā)完成，并于2023-10-19向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)在說明書摘要公布了：本發(fā)明屬于晶圓技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括外殼，還包括安裝在所述外殼上的控制屏、攝像頭、進(jìn)出裝置、翻轉(zhuǎn)裝置以及自鎖裝置。該晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，通過設(shè)置進(jìn)出裝置，在對晶圓進(jìn)行翻面時，能夠位于外殼的外部進(jìn)行翻面，不需要在外殼內(nèi)設(shè)置晶圓翻面所需要的空間，不影響機(jī)械手拿取下一塊晶圓進(jìn)行清洗，通過移動齒條的移動帶動晶圓能夠進(jìn)行前后兩個方向的移動，在盛放座位于外殼前方時，便于對晶圓的拿取和放置，位于外殼的后方時，便于對晶圓的翻面，從而能夠自動對晶圓實(shí)現(xiàn)翻面動作，解決了現(xiàn)有的晶圓清洗完成需要對其進(jìn)行翻面，通過機(jī)械手翻面，降低清洗效率的技術(shù)問題。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括外殼1，其特征在于：還包括安裝在所述外殼1上的控制屏11、攝像頭12、進(jìn)出裝置、翻轉(zhuǎn)裝置以及自鎖裝置； 所述攝像頭12固定安裝在所述控制屏11的殼體外表面，所述攝像頭12對夾持晶圓的機(jī)械手進(jìn)行捕捉動作； 進(jìn)出裝置，所述進(jìn)出裝置設(shè)置在所述外殼1的內(nèi)部，并對需要清洗的晶圓和清洗完成后的晶圓進(jìn)行推送至所述外殼1的外部，所述進(jìn)出裝置包括用于盛放晶圓的盛放座20、驅(qū)動機(jī)構(gòu)以及進(jìn)出機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括傳遞齒輪22，所述傳遞齒輪22的移動驅(qū)動不同層面的所述進(jìn)出機(jī)構(gòu)進(jìn)行移動動作，所述進(jìn)出機(jī)構(gòu)包括移動塊31，所述移動塊31在所述傳遞齒輪22的轉(zhuǎn)動下帶動所述盛放座20進(jìn)行前后水平移動動作； 翻轉(zhuǎn)裝置，所述翻轉(zhuǎn)裝置包括用于翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)齒輪51，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)位于所述移動塊31的一側(cè)，所述翻轉(zhuǎn)齒輪51的轉(zhuǎn)動帶動所述盛放座20進(jìn)行翻面動作； 自鎖裝置，所述自鎖裝置設(shè)置在所述盛放座20的內(nèi)部，并對所述盛放座20內(nèi)的晶圓進(jìn)行固定動作，所述自鎖裝置包括固定機(jī)構(gòu)和鎖定機(jī)構(gòu)，所述固定機(jī)構(gòu)包括固定塊63，在對晶圓進(jìn)行翻面時，所述固定塊63的升起對所述盛放座20內(nèi)的晶圓進(jìn)行支撐固定動作，在對晶圓進(jìn)行取出時，所述固定塊63的下降對所述盛放座20內(nèi)的晶圓解除固定動作，所述鎖定機(jī)構(gòu)包括磁球72以及固定槽74，所述磁球72的外表面與所述固定槽74的內(nèi)壁磁性吸附后對所述固定塊63進(jìn)行固定動作。

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