買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉肇慶祥鈺真空科技有限公司申請的專利一種真空鍍膜機的柱弧靶裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223304531U 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422160806.9，技術領域涉及：C23C14/35；該實用新型一種真空鍍膜機的柱弧靶裝置是由劉金文;劉昕頤;王玉涼設計研發完成，并于2024-09-04向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種真空鍍膜機的柱弧靶裝置在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種真空鍍膜機的柱弧靶裝置，包括接電機構、磁芯機構和第一電機，接電機構包括上接電組件和下接電組件，上接電組件和下接電組件交替向管靶供電；磁芯機構包括靶芯組件、磁鐵組件，靶芯組件的外圓面具有第一安裝槽、第二安裝槽，磁鐵組件包括第一磁鐵和第二磁鐵，第一安裝槽安裝第一磁鐵，第二安裝槽安裝第二磁鐵，第一磁鐵和第二磁鐵用于配合產生平衡閉環磁場，平衡閉環磁場用于將管靶的表面組份朝靶芯組件的徑向一側濺射；第一電機用于帶動管靶沿靶芯組件的軸心轉動。本實用新型的一種真空鍍膜機的柱弧靶裝置，能夠將管靶的表面組份定向濺射，提高鍍膜效率，且能夠在真空腔內同時布置不同類型的管靶，增加基片的膜層多樣性。

本實用新型一種真空鍍膜機的柱弧靶裝置在權利要求書中公布了：1.一種真空鍍膜機的柱弧靶裝置，其特征在于，包括： 接電機構（100），包括上接電組件（190）和下接電組件（200），所述上接電組件（190）和所述下接電組件（200）分別與管靶（110）的兩端電連接并用于交替向管靶（110）供電； 磁芯機構（120），位于管靶（110）內，包括靶芯組件（130）和磁鐵組件（140），所述靶芯組件（130）與管靶（110）同軸設置，所述磁鐵組件（140）設置在所述靶芯組件（130）的徑向一側，所述靶芯組件（130）的外圓面具有第一安裝槽（150）、兩個分別位于所述第一安裝槽（150）兩側的第二安裝槽（160），所述第一安裝槽（150）與所述第二安裝槽（160）的長度方向沿所述靶芯組件（130）的軸向設置，所述磁鐵組件（140）包括磁極朝向相反的第一磁鐵（170）和第二磁鐵（180），所述第一安裝槽（150）安裝有所述第一磁鐵（170），所述第二安裝槽（160）安裝有所述第二磁鐵（180），所述第一磁鐵（170）和所述第二磁鐵（180）用于配合產生平衡閉環磁場，所述平衡閉環磁場用于將管靶（110）的表面組份朝所述靶芯組件（130）的徑向一側濺射； 第一電機（300），用于帶動管靶（110）沿所述靶芯組件（130）的軸心轉動。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人肇慶祥鈺真空科技有限公司，其通訊地址為：526000 廣東省肇慶市鼎湖區蘇村社區雙喜山莊路口(歐可馬店東側廠房)；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。