沈陽芯源微電子設備股份有限公司張建獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉沈陽芯源微電子設備股份有限公司申請的專利片盒模塊和涂膠顯影裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223296281U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422877056.7，技術領域涉及：G03F7/20；該實用新型片盒模塊和涂膠顯影裝置是由張建;陳興隆;王超群;陳艷雙;姜天明設計研發完成，并于2024-11-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本片盒模塊和涂膠顯影裝置在說明書摘要公布了：本實用新型涉及半導體制造中的涂膠顯影領域，提供一種片盒模塊，應用于涂膠顯影裝置，包括：第一裝載工位，用于裝載待處理的晶圓；第二裝載工位，用于裝載已處理的晶圓；第二裝載工位位于所述第一裝載工位的一側；進出站機器人，用于將所述第一裝載工位上的晶圓傳送至進片總工位，以及將片盒回片支路工位上的晶圓傳送至所述第二裝載工位；傳片機械手，用于將進片總工位上的晶圓傳送至片盒進片支路工位；所述片盒回片支路工位位于所述片盒進片支路工位的底側；所述傳片機械手位于所述片盒模塊的第一側或第二側；所述傳片機械手的對側安置有輔助工藝單元，所述輔助工藝單元用于對晶圓進行輔助處理。該片盒模塊用于適應高吞吐量的晶圓生產需求。
本實用新型片盒模塊和涂膠顯影裝置在權利要求書中公布了：1.一種片盒模塊，應用于涂膠顯影裝置，其特征在于，包括： 第一裝載工位，用于裝載待處理的晶圓；第二裝載工位，用于裝載已處理的晶圓； 進出站機器人，用于將所述第一裝載工位上的晶圓傳送至進片總工位，以及將片盒回片支路工位上的晶圓傳送至所述第二裝載工位； 傳片機械手，用于將進片總工位上的晶圓傳送至片盒進片支路工位； 所述傳片機械手位于所述片盒模塊的第一側或第二側；所述傳片機械手的對側安置有輔助工藝單元，所述輔助工藝單元用于對晶圓進行輔助處理。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人沈陽芯源微電子設備股份有限公司，其通訊地址為：110180 遼寧省沈陽市渾南區飛云路16號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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