北京日揚弘創智能裝備有限公司張永濤獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京日揚弘創智能裝備有限公司申請的專利用于半導體制造設備控制的方法、系統、裝置及設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119833445B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510031919.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權用于半導體制造設備控制的方法、系統、裝置及設備是由張永濤;強成;關仁杰;郭啟升;王宏聲設計研發完成，并于2025-01-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于半導體制造設備控制的方法、系統、裝置及設備在說明書摘要公布了：本發明公開了用于半導體制造設備控制的方法、系統、裝置及設備，該方法包括：在確定半導體制造設備的物料加工位置已卸載了半導體產品情況下，控制視覺檢測設備對物料加工位置進行半導體產品的碎片殘留檢測；獲取視覺檢測設備發送的與物料加工位置對應的檢查結果信息，其中，檢查結果信息包括的碎片殘留異常信息是在檢測到物料加工位置上有與半導體產品相同的底色的情況下，視覺檢測設備發送的；在確定檢查結果信息包括碎片殘留異常信息情況下，停止運行，并進行報警處理。這樣，可實現半導體產品碎片殘留的自動化檢測，減少了設備的維修成本、人工成本，也提高了設備的產能。
本發明授權用于半導體制造設備控制的方法、系統、裝置及設備在權利要求書中公布了：1.一種用于半導體制造設備控制的方法，其特征在于，包括： 在確定半導體制造設備的物料加工位置已卸載了半導體產品情況下，控制視覺檢測設備對物料加工位置進行半導體產品的碎片殘留檢測； 獲取視覺檢測設備發送的與物料加工位置對應的檢查結果信息，其中，檢查結果信息包括的碎片殘留異常信息是在檢測到物料加工位置上有與半導體產品相同的底色的情況下，視覺檢測設備發送的； 在確定檢查結果信息包括碎片殘留異常信息情況下，停止運行，并進行報警處理； 其中，所述控制視覺檢測設備對物料加工位置進行半導體產品的碎片殘留檢測包括： 在當前加工區域有兩個或多個物料加工位置的情況下，控制視覺檢測設備中第一相機拍攝當前加工區域中一個或多個物料加工位置的第一圖像信息； 在確定第一相機拍攝完成的情況下，控制半導體制造設備旋轉加工區域，使得當前加工區域的其他物料加工位置與視覺檢測設備中第二相機的拍攝區域相對應，并控制視覺檢測設備中第二相機拍攝其他物料加工位置的第二圖像信息。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京日揚弘創智能裝備有限公司，其通訊地址為：100000 北京市大興區青云店鎮青正街8號546室平房(集群注冊)；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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