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龍圖騰網獲悉北京中科科儀股份有限公司申請的專利一種掃描電鏡真空系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120033049B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510177511.9，技術領域涉及：H01J37/18；該發明授權一種掃描電鏡真空系統是由楊聚星設計研發完成，并于2025-02-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種掃描電鏡真空系統在說明書摘要公布了：本發明涉及顯微鏡技術領域，公開了一種掃描電鏡真空系統，包括：電子槍；鏡筒通過第一閥門與電子槍連接；樣品室與鏡筒通過第六閥門連接；分子泵第一進氣口與電子槍連接，第二進氣口通過第五閥門與鏡筒連接；分子泵通過第四閥門與樣品室連接；機械泵通過第三閥門與樣品室連接；掃描電鏡真空系統具有關閉第四閥門和第六閥門，打開第一閥門、第三閥門和第五閥門的低真空模式；及具有關閉第三閥門和第五閥門，打開第一閥門、第四閥門和第六閥門的高真空模式。本申請的掃描電鏡真空系統可以在低真空模式和高真空模式下自由切換；并且，本申請的掃描電鏡真空系統使用盡可能少的器件，成本較低，減小體積，節省空間。

本發明授權一種掃描電鏡真空系統在權利要求書中公布了：1.一種掃描電鏡真空系統，其特征在于，包括： 電子槍1； 鏡筒2，通過第一閥門3與所述電子槍1連接； 樣品室4，與所述鏡筒2之間設有第一壓差光闌5；所述樣品室4與鏡筒2通過第六閥門10連接； 分子泵13，第一進氣口與所述電子槍1連接，所述分子泵13的第二進氣口通過第五閥門9與所述鏡筒2連接；所述分子泵13通過第四閥門8與所述樣品室4的底部連接； 機械泵18，通過第三閥門7與所述樣品室4連接； 所述掃描電鏡真空系統具有關閉第四閥門8和第六閥門10，打開第一閥門3、第三閥門7和第五閥門9的低真空模式；以及具有關閉第三閥門7和第五閥門9，打開第一閥門3、第四閥門8和第六閥門10的高真空模式；在低真空模式下，所述電子槍1內的真空度小于5×e－3Pa，所述鏡筒2內的真空度大于1×e－2Pa，且所述鏡筒2內的真空度小于1Pa，所述樣品室4內的真空度大于1Pa，且所述樣品室4內的真空度小于1000Pa；在高真空模式下，所述電子槍1內的真空度、鏡筒2內的真空度和樣品室4內的真空度均小于5×e－3Pa； 還包括： 第七閥門11，與所述樣品室4連接，經所述第七閥門11向所述樣品室4內輸入氣體； 第二真空計15，與所述樣品室4連接，所述第二真空計15適于實時獲取樣品室4內的真空度； 控制器，與所述第七閥門11、第二真空計15均信號連接；在低真空模式下，所述控制器適于將真空度設定值與第二真空計15獲取的樣品室4內的實際真空度做比較，獲得誤差信號，再將誤差信號經PID環節16處理后，獲得控制信號，并通過控制信號實時控制第七閥門11的開度，以控制輸入樣品室4內的氣體流量，使得樣品室4內的實際真空度與所述真空度設定值相等。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京中科科儀股份有限公司，其通訊地址為：100190 北京市海淀區中關村北二條13號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。