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龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州智程半導(dǎo)體科技股份有限公司申請(qǐng)的專利一種半導(dǎo)體晶圓化學(xué)清洗夾具獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120413510B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510914920.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體晶圓化學(xué)清洗夾具是由華斌;陳焱;任廣相設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-03向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種半導(dǎo)體晶圓化學(xué)清洗夾具在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及清洗夾具技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種半導(dǎo)體晶圓化學(xué)清洗夾具，包括第一板，用于放置承載晶圓，第二板，其設(shè)置于第一板上，通過(guò)第二板便于使用人員移動(dòng)第一板和晶圓，限位組件，其設(shè)置于第一板上，用于限制第一板上晶圓的位置，限位組件的內(nèi)部設(shè)置有調(diào)節(jié)單元。本發(fā)明通過(guò)限位組件能夠?qū)χ睆酱笮〔煌木A進(jìn)行位置限定，然后通過(guò)夾持組件中的導(dǎo)輪抵住晶圓的外表面，使晶圓被頂在導(dǎo)輪、第一圓柱和兩個(gè)第二圓柱之間，通過(guò)本裝置可以將被限位的晶圓夾持固定，確保了晶圓在清洗時(shí)不會(huì)因晃動(dòng)而滑落摔壞。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體晶圓化學(xué)清洗夾具在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種半導(dǎo)體晶圓化學(xué)清洗夾具，其特征在于，包括： 第一板（1），用于放置承載晶圓（3）； 第二板（2），其設(shè)置于第一板（1）上，通過(guò)第二板（2）便于使用人員移動(dòng)第一板（1）和晶圓（3）； 限位組件，其設(shè)置于第一板（1）上，用于限制第一板（1）上晶圓（3）的位置，限位組件的內(nèi)部設(shè)置有調(diào)節(jié)單元，調(diào)節(jié)單元被設(shè)置為當(dāng)晶圓（3）的直徑大小不同時(shí)，能夠調(diào)節(jié)限位組件中至少一個(gè)部件的位置，使限位組件能夠?qū)χ睆酱笮〔煌木A（3）進(jìn)行位置限定，所述限位組件包括： 兩塊第三板（4），兩塊第三板（4）對(duì)稱設(shè)置于第一板（1）的上表面并相互垂直設(shè)置，兩塊第三板（4）與第一板（1）的上表面之間均設(shè)置有第一腔（401），晶圓（3）設(shè)置于第一腔（401）的內(nèi)部，通過(guò)第一腔（401）限制晶圓（3）的軸向移動(dòng)； 第一圓柱（7），其設(shè)置于第一板（1）上，用于限制晶圓（3）其中一個(gè)直徑方向的移動(dòng)； 兩個(gè)第二圓柱（9），其對(duì)稱設(shè)置于第一板（1）上且分別位于兩個(gè)第一腔（401）內(nèi)，用于限制晶圓（3）另兩個(gè)直徑方向的移動(dòng)，第一圓柱（7）設(shè)置于兩個(gè)第二圓柱（9）之間，第一圓柱（7）和兩個(gè)第二圓柱（9）形成三角形結(jié)構(gòu)，晶圓（3）設(shè)置于第一圓柱（7）和兩個(gè)第二圓柱（9）之間，能夠?qū)A（3）的直徑方向進(jìn)行位置限定； 夾持組件，其設(shè)置于第二板（2）上，與限位組件配合使用，當(dāng)限位組件將晶圓（3）的位置限定后通過(guò)夾持組件對(duì)晶圓（3）進(jìn)行夾持固定，夾持組件的內(nèi)部設(shè)置有自適應(yīng)單元，自適應(yīng)單元被設(shè)置為當(dāng)晶圓（3）的直徑大小不同時(shí)，能夠調(diào)節(jié)夾持組件的夾持力，使得晶圓（3）不會(huì)被過(guò)度夾持而損壞，所述夾持組件包括： 滑套（11），其設(shè)置于第二板（2）上，用于帶動(dòng)夾持組件內(nèi)至少一個(gè)部件沿著第二板（2）的軸向移動(dòng)，滑套（11）的外表面螺紋連接有鎖緊螺栓（12），能夠?qū)Φ诙澹?）上滑套（11）的位置進(jìn)行鎖緊固定，第二板（2）上的外表面開(kāi)設(shè)有多個(gè)刻度標(biāo)（202），用于精確定位滑套（11）在第二板（2）的軸向移動(dòng)位置，滑套（11）的內(nèi)部設(shè)置有空腔，滑套（11）的外表面對(duì)稱貫穿開(kāi)設(shè)有第四通槽（1101）； 導(dǎo)輪（14），其設(shè)置于滑套（11）的空腔內(nèi)部，導(dǎo)輪（14）被設(shè)置為當(dāng)滑套（11）沿著第二板（2）的軸向向著晶圓（3）移動(dòng)時(shí)，能帶動(dòng)導(dǎo)輪（14）與晶圓（3）的圓周外表面相抵，使晶圓（3）被夾持在導(dǎo)輪（14）、第一圓柱（7）和兩個(gè)第二圓柱（9）之間，第四通槽（1101）的內(nèi)壁之間滑動(dòng)安裝有連接板（16），連接板（16）的兩端均貫穿第四通槽（1101）固定安裝有支板（15），導(dǎo)輪（14）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于兩個(gè)支板（15）之間； 所述自適應(yīng)單元包括： 支架（17），其設(shè)置于滑套（11）的空腔內(nèi)部，用于承載安裝至少一個(gè)自適應(yīng)單元部件，支架（17）的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有凹槽（1703）； 第一塊（19），其設(shè)置于凹槽（1703）的內(nèi)部，第一塊（19）的一端固定連接有第二彈簧（18），第二彈簧（18）的另一端與連接板（16）的外表面固定連接，第一塊（19）被設(shè)置為當(dāng)其沿著凹槽（1703）的軸向進(jìn)行移動(dòng)時(shí)，能夠調(diào)整第二彈簧（18）在第一塊（19）和連接板（16）之間的預(yù)壓縮力，第一塊（19）的另一端對(duì)稱開(kāi)設(shè)有兩個(gè)第一斜角（1902）； 兩個(gè)第二塊（20），其設(shè)置于支架（17）上，兩個(gè)第二塊（20）相鄰的一端均開(kāi)設(shè)有第二斜角（2001），第二斜角（2001）與第一斜角（1902）相抵，兩個(gè)第二塊（20）被設(shè)置為當(dāng)其受到外力擠壓時(shí)，第二塊（20）通過(guò)第二斜角（2001）與第一斜角（1902）的配合，帶動(dòng)第一塊（19）沿著凹槽（1703）的軸向向著導(dǎo)輪（14）移動(dòng)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人蘇州智程半導(dǎo)體科技股份有限公司，其通訊地址為：215312 江蘇省蘇州市昆山市巴城鎮(zhèn)中華路889號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。