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龍圖騰網獲悉江蘇眾晶半導體有限公司申請的專利一種晶圓載臺及晶圓加工設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120453220B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510939914.2，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權一種晶圓載臺及晶圓加工設備是由馬正方;朱國峰設計研發完成，并于2025-07-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓載臺及晶圓加工設備在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓載臺及晶圓加工設備，涉及半導體加工技術領域，一種晶圓載臺，包括臺體，所述臺體上開設有用于晶圓定位放置的放置槽；還包括：抽壓夾緊組件，設置于臺體上用于對放置在放置槽內部的晶圓抽壓夾緊。本發明通過抽壓夾緊組件與擠壓夾緊組件的相互配合，實現對晶圓底部的抽壓夾緊及晶圓外部的擠壓夾緊，保證晶圓在晶圓載臺上夾持固定的效果，且在夾持的過程中，通過聯動組件，合理的控制抽壓夾緊組件與晶圓底部邊緣的距離，使得抽壓夾緊組件在抽壓夾緊的過程中不與晶圓內陷槽位置產生間隙，避免抽壓夾持過程中出現吸附力波動及外部灰塵與其他雜質的混入，保證晶圓載臺對晶圓的夾持效果。

本發明授權一種晶圓載臺及晶圓加工設備在權利要求書中公布了：1.一種晶圓載臺，包括： 臺體（101），所述臺體（101）上開設有用于晶圓定位放置的放置槽（102）； 其特征在于，還包括： 抽壓夾緊組件，設置于臺體（101）上用于對放置在放置槽（102）內部的晶圓抽壓夾緊； 擠壓夾緊組件，設置于臺體（101）上用于對放置槽（102）內部放置后晶圓擠壓夾緊，所述抽壓夾緊組件與擠壓夾緊組件設置有多組，且各組抽壓夾緊組件與擠壓夾緊組件一一對應，各組所述抽壓夾緊組件與擠壓夾緊組件在臺體（101）上呈環形陣列的狀態設置； 聯動組件，設置于抽壓夾緊組件與擠壓夾緊組件之間，用于夾持過程中根據晶圓底部狀態控制抽壓夾緊位置； 以及，開設于臺體（101）上的安裝腔（5），所述安裝腔（5）與放置槽（102）之間開設有多組呈環形陣列狀態設置的L型槽（6），所述抽壓夾緊組件及擠壓夾緊組件處于L型槽（6）的內部，所述臺體（101）上設置有用于對抽壓夾緊組件抽壓的抽壓組件； 所述抽壓夾緊組件包括設置于安裝腔（5）內部的抽壓管（201），所述抽壓管（201）的上方設置有用于與晶圓底部相抵的氣管（202），所述氣管（202）從L型槽（6）上穿過處于放置槽（102）的內部； 所述擠壓夾緊組件包括設置于安裝腔（5）內部的安裝板（301），所述安裝腔（5）的內部設置有用于對安裝板（301）伸縮連接的伸縮組件，所述安裝板（301）的一側固定有擠壓板（302），所述擠壓板（302）的前端從L型槽（6）上穿過并處于放置槽（102）的內部，所述擠壓板（302）的上端上開設有用于與晶圓底部四周相抵傳動的斜面（303）。

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