山東理工大學孫海濱獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉山東理工大學申請的專利一種6N級高純碳化硅粉體的制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120463200B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510954965.2,技術領域涉及:C01B32/977;該發明授權一種6N級高純碳化硅粉體的制備方法是由孫海濱;郭學;李文杰;張偉;胡強強;馮玉潤設計研發完成,并于2025-07-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種6N級高純碳化硅粉體的制備方法在說明書摘要公布了:本發明屬于先進陶瓷材料技術領域,具體公開了一種6N級高純碳化硅粉體的制備方法,該方法包括以下步驟:步驟S1、配料;步驟S2、聲共振混合;步驟S3、高溫熱解與煅燒;步驟S4、酸洗純化與洗滌;步驟S5、真空震蕩干燥。本發明采用上述一種6N級高純碳化硅粉體的制備方法,該制備方法解決了傳統工藝均勻性差、效率低、能耗高的問題;通過該方法可得到純度≥99.9999%的碳化硅粉體,制備出的碳化硅粉體純度高、分散性好,適用于半導體、新能源等高端領域。
本發明授權一種6N級高純碳化硅粉體的制備方法在權利要求書中公布了:1.一種6N級高純碳化硅粉體的制備方法,其特征在于,包括以下步驟: 步驟S1、配料;將高純硅粉和高純碳粉按照摩爾比為1:1.02~1:1.05進行稱取;按高純硅粉和高純碳粉總質量的45~60%稱取高純液態聚碳硅烷; 步驟S2、聲共振混合;將稱取的高純硅粉、高純碳粉和高純液態聚碳硅烷加入石英容器,通入高純氬氣,在室溫條件啟動聲共振裝置進行聲共振混合,得到均勻漿料; 步驟S3、高溫熱解與煅燒;將均勻漿料倒入石墨坩堝,在爐體反應室中通入高純氬氣,進行第一次升溫,保溫2h;繼續進行第二次升溫,得到碳化硅粉體; 步驟S4、酸洗純化與洗滌;將氫氟酸與硝酸按照體積比為1:1制備混合液,通過混合液對碳化硅粉體進行超聲洗滌;采用去離子水對酸洗后的碳化硅粉體進行超聲洗滌,經抽濾得到濾料; 步驟S5、真空震蕩干燥;將濾料加入真空震蕩干燥機,抽真空至-0.095~-0.1MPa,在10~20Hz的震蕩頻率,先升溫至50~60℃預熱1h,然后升溫至80~100℃保溫2~3h,經自然降溫即得到6N級高純碳化硅粉體。
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