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龍圖騰網獲悉軍事科學院系統工程研究院網絡信息研究所申請的專利基于光生自由載流子的芯片集成全光調制方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114609804B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011443425.1，技術領域涉及：G02F1/01；該發明授權基于光生自由載流子的芯片集成全光調制方法是由郭凱;張潔;陳浩;閆培光設計研發完成，并于2020-12-08向國家知識產權局提交的專利申請。

本基于光生自由載流子的芯片集成全光調制方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種基于光生自由載流子的芯片集成全光調制方法，泵浦光場通過定向耦合器進入光學調制器、通過雙光子吸收效應產生自由載流子并改變傳輸波導折射率，信號光場相位隨折射率變化實現有效調制。該方法基于現階段相對成熟的芯片集成光路制備工藝，能夠通過一次曝光刻蝕制備完成，同時兼顧高調制速率、低插入損耗、高機械穩定性、高制備效率等優勢，有望在超大規模芯片集成光電系統中得到廣泛應用。

本發明授權基于光生自由載流子的芯片集成全光調制方法在權利要求書中公布了：1.一種基于光生自由載流子的芯片集成全光調制方法，包括以下步驟： 步驟一、泵浦光場調制耦合，將調制信號加載于X波段泵浦光場，通過定向耦合器耦合到光學調制器內； 步驟二、信號光場調制，泵浦光場在雙光子吸收作用下產生自由載流子、引起傳輸波導折射率變化和實現對Y波段信號光場相位的有效調制；光學調制器以泵浦光場為驅動源且全部由無源光學器件構成；具體包括： S101、通過絕緣體上硅標準工藝制備光學調制器，同時傳輸X波段泵浦光場和Y波段信號光場的硅基波導和X波段泵浦光場交叉耦合系數最大，Y波段信號光場交叉耦合系數最小的定向耦合器； S102、將經過調制的X波段泵浦光場通過定向耦合器導入光學調制器并與未經過調制的Y波段信號光場合并傳輸； S103、泵浦光場在雙光子吸收作用下產生自由載流子并改變傳輸波導折射率，對信號光場相位分布進行調制； 經過調制的X波段泵浦光場和未經調制的Y波段信號光場分別通過光柵耦合器耦合進入硅基波導；信號光場經光學分束器分至馬赫增特干涉儀兩臂；泵浦光場經定向耦合器耦合進入馬赫增特干涉儀一臂；泵浦光場在硅基波導雙光子吸收作用下產生自由載流子，改變硅基波導折射率并實現信號光場相位調制；殘留泵浦光場經另一定向耦合器導出；經過相位調制的信號光場和未經過相位調制的信號光場干涉輸出強度調制信號； 所述S101中優化設計波導橫截面結構使傳輸損耗較低、自由載流子壽命較短以及波導折射率變化靈敏，優化設計波導長度以兼顧低傳輸損耗和大調制深度；所述S102中泵浦光場和信號光場需具有相同的重復頻率、相近的傳播常數和近零的時序失配；所述定向耦合器由兩根平行波導組成，波導長度、寬度和間距經過設計，X波段泵浦光場可在兩根波導間倏逝耦合，Y波段信號光場不發生倏逝耦合。

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