無錫華潤上華科技有限公司趙景川獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉無錫華潤上華科技有限公司申請的專利橫向擴散金屬氧化物半導體器件及其制造方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114695510B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011630768.9,技術領域涉及:H10D62/10;該發明授權橫向擴散金屬氧化物半導體器件及其制造方法是由趙景川;何乃龍;張森;張志麗;王浩設計研發完成,并于2020-12-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本橫向擴散金屬氧化物半導體器件及其制造方法在說明書摘要公布了:本發明涉及一種橫向擴散金屬氧化物半導體器件及其制造方法,所述器件包括:襯底,具有第二導電類型;漂移區,設于所述襯底上,具有第一導電類型,第一導電類型和第二導電類型為相反的導電類型;多層摻雜結構,設于所述漂移區中,每層摻雜結構包括至少一根沿導電溝道長度方向延伸的摻雜條;多根摻雜多晶硅柱,設于所述漂移區中,并從上至下貫穿至少一層摻雜結構的摻雜條,各所述摻雜多晶硅柱的摻雜離子的導電類型與各所述摻雜條的摻雜離子的導電類型相反。本發明由于形成了注入孔,因此離子注入不受深度的約束,并且可以在漂移區體內形成多重RESURF結構多個導電通道。能夠提高擊穿電壓降低導通電阻。
本發明授權橫向擴散金屬氧化物半導體器件及其制造方法在權利要求書中公布了:1.一種橫向擴散金屬氧化物半導體器件,其特征在于,包括: 襯底,具有第二導電類型; 漂移區,設于所述襯底上,具有第一導電類型,第一導電類型和第二導電類型為相反的導電類型; 多層摻雜結構,設于所述漂移區中,每層摻雜結構包括至少一根沿導電溝道長度方向延伸的摻雜條; 多根摻雜多晶硅柱,設于所述漂移區中,并從上至下貫穿所述多層摻雜結構的摻雜條,各所述摻雜多晶硅柱的摻雜離子的導電類型與各所述摻雜條的摻雜離子的導電類型相反; 其中,所述第一導電類型是N型,所述第二導電類型是P型,各所述摻雜條為P型摻雜,各所述摻雜多晶硅柱是N型摻雜。
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