騰訊科技(深圳)有限公司李凱偉獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉騰訊科技(深圳)有限公司申請的專利柔性光學觸覺傳感器的制備方法及柔性光學觸覺傳感器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115077577B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110272448.9,技術領域涉及:G01D5/26;該發明授權柔性光學觸覺傳感器的制備方法及柔性光學觸覺傳感器是由李凱偉;黎雄;張中;鄭宇;張正友設計研發完成,并于2021-03-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本柔性光學觸覺傳感器的制備方法及柔性光學觸覺傳感器在說明書摘要公布了:本申請提供了一種柔性光學觸覺傳感器的制備方法及柔性光學觸覺傳感器。在制備柔性光學觸覺傳感器時,主要包括兩個步驟,一是制備光波導,二是采用包層材料對光波導進行封裝。其中,在制備光波導階段,在采用透明光刻膠形成一種透明光刻圖案后,會使用有色光刻膠對這種透明光刻圖案進行標記,以防止后續制備過程中無法定位薄膜光路;進一步地,采用對雙光子聚合光刻膠進行雙光子聚合加工的方式來形成波導光柵,能夠大大提高觸覺傳感器的空間分辨率;另外,在上述制備過程中,所形成的光刻圖案和波導光柵的厚度均為微納米級,使得制備的觸覺傳感器具備良好的可彎曲性。綜上,采用上述制備方法能夠得到一種具備柔性和高空間分辨率的觸覺傳感器。
本發明授權柔性光學觸覺傳感器的制備方法及柔性光學觸覺傳感器在權利要求書中公布了:1.一種柔性光學觸覺傳感器的制備方法,其特征在于,所述方法包括: 制備光波導;所述光波導包括第一光刻圖案、第二光刻圖案以及波導光柵,所述第一光刻圖案是基于透明光刻膠形成的透明圖案,所述第二光刻圖案是基于有色光刻膠形成的有色圖案,所述第二光刻圖案用于標記所述第一光刻圖案,所述波導光柵是通過對雙光子聚合光刻膠進行雙光子聚合加工得到的; 采用包層材料,將所述光波導封裝成柔性光學觸覺傳感器; 其中,所述第一光刻圖案、所述第二光刻圖案以及所述波導光柵的厚度為微納米級,所述包層材料為柔性材質,所述波導光柵的位置基于所述第一光刻圖案的圖案形狀和所述第二光刻圖案的圖案形狀確定,所述第一光刻圖案包括N行排列的蛇形線條;所述第二光刻圖案包括N行排列的圓環結構,所述圓環結構上設置有缺口,所述蛇形線條規律性地穿過各個缺口,所述波導光柵位于缺口位置且分布在所述蛇形線條的兩側,N為正整數。
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