信越化學工業株式會社坂爪崇寬獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉信越化學工業株式會社申請的專利成膜裝置及成膜方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115428131B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180027330.8，技術領域涉及：H01L21/365；該發明授權成膜裝置及成膜方法是由坂爪崇寬設計研發完成，并于2021-03-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本成膜裝置及成膜方法在說明書摘要公布了：本發明是一種成膜裝置，其至少具備：霧化部，其霧化原料溶液而產生霧；連接于所述霧化部、并輸送含有所述霧的載氣的配管；輸送向含有所述霧的載氣中混合、并以1種以上的氣體為主成分的添加用流體的至少一根以上的配管；與成膜部連接、并輸送將含有所述霧的載氣和所述添加用流體混合后的混合霧流體的配管；連接部件，其連接輸送含有所述霧的載氣的配管、輸送所述添加用流體的配管、以及輸送所述混合霧流體的配管；以及成膜部，其對所述霧進行熱處理而在基體上進行成膜，通過所述連接部件連接的、輸送所述添加用流體的配管與輸送所述混合霧流體的配管所成的角是120度以上。由此，提供一種能夠應用成膜速度優異的霧化CVD法的成膜裝置。
本發明授權成膜裝置及成膜方法在權利要求書中公布了：1.一種成膜裝置，其特征在于，至少具備： 霧化部，其霧化原料溶液而產生霧； 連接于所述霧化部、并輸送含有所述霧的載氣的配管； 輸送向含有所述霧的載氣中混合、并以1種以上的氣體為主成分的添加用流體的至少一根以上的配管； 與成膜部連接、并輸送將含有所述霧的載氣和所述添加用流體混合后的混合霧流體的配管； 連接部件，其連接輸送含有所述霧的載氣的配管、輸送所述添加用流體的配管、以及輸送所述混合霧流體的配管；以及 成膜部，其對所述霧進行熱處理而在基體上進行成膜， 通過所述連接部件連接的、輸送所述添加用流體的配管與輸送所述混合霧流體的配管所成的角是120度以上， 使所述添加用流體的線速度為含有所述霧的載氣的線速度的1倍~100倍，所述載氣的流量為8Lmin以上。
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