ASM IP私人控股有限公司中野竜獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉ASM IP私人控股有限公司申請的專利包括調節電路的反應器系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113621944B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110493981.8，技術領域涉及：C23C16/455；該發明授權包括調節電路的反應器系統是由中野竜;莊司文孝設計研發完成，并于2021-05-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本包括調節電路的反應器系統在說明書摘要公布了：一種反應器系統的基座組件的，可以包括由基座外邊緣限定的基座本體，基座本體包括基座外部部分和基座內部部分，其中基座外部部分鄰近于基座外邊緣，并且基座內部部分被至少部分地封閉在基座外部部分內；第一調節電路，包括邊緣電極和耦接到邊緣電極的第一諧振電路，其中邊緣電極耦接到基座本體；第二調節電路，包括中央電極和耦接到中央電極的第二諧振電路，其中中央電極耦接到基座本體；其中邊緣電極設置為比中央電極更鄰近于基座外邊緣。
本發明授權包括調節電路的反應器系統在權利要求書中公布了：1.一種反應器系統的基座組件，包括： 基座本體，由基座外邊緣限定，所述基座本體包括基座外部部分和基座內部部分，其中所述基座外部部分鄰近于基座外邊緣，并且所述基座內部部分被至少部分地封閉在所述基座外部部分內； 第一調節電路，包括邊緣電極和耦接到所述邊緣電極的第一諧振電路，其中所述邊緣電極耦接到所述基座本體；以及 第二調節電路，包括中央電極和耦接到所述中央電極的第二諧振電路，其中所述中央電極耦接到所述基座本體； 其中所述邊緣電極設置為比所述中央電極更鄰近于所述基座外邊緣； 其中所述第一調節電路獨立于所述第二調節電路。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASM IP私人控股有限公司，其通訊地址為：荷蘭阿爾梅勒；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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