佳能株式會社上野卓郎獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉佳能株式會社申請的專利掃描曝光裝置、掃描曝光方法以及物品制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113985702B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110847346.5，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權掃描曝光裝置、掃描曝光方法以及物品制造方法是由上野卓郎;板橋宏明設計研發完成，并于2021-07-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本掃描曝光裝置、掃描曝光方法以及物品制造方法在說明書摘要公布了：本公開涉及掃描曝光裝置、掃描曝光方法以及物品制造方法。掃描曝光裝置針對由照明光學系統照明的照明區域掃描原版，并且一邊與原版的掃描同步地掃描基板，一邊對基板進行掃描曝光。掃描曝光裝置具備：第1調整機構，在進行基板的第1區域的掃描曝光以及與第1區域部分地重復的第2區域的掃描曝光的模式下調整被照射到第1區域與第2區域的重復區域的曝光光的照度分布；第2調整機構，調整照明區域的形狀；以及控制部，在執行以在重復區域的整個區域使曝光量超過目標曝光量的方式使第1調整機構動作的第1調整動作之后，執行以在重復區域使曝光量收斂于目標曝光量的容許范圍的方式使第2調整機構動作的第2調整動作。
本發明授權掃描曝光裝置、掃描曝光方法以及物品制造方法在權利要求書中公布了：1.一種掃描曝光裝置，針對由照明光學系統照明的照明區域而掃描原版，并且一邊與所述原版的掃描同步地對基板進行掃描，一邊對所述基板進行掃描曝光，所述掃描曝光裝置的特征在于，具備： 第1調整機構，配置在將所述原版的圖案投影到所述基板的投影光學系統與所述基板之間，在進行所述基板的第1區域的掃描曝光以及與所述第1區域部分地重復的第2區域的掃描曝光的模式下，調整被照射到所述第1區域與所述第2區域的重復區域的曝光光的照度分布； 第2調整機構，配置在所述照明光學系統與所述原版之間，調整所述照明區域的形狀；以及 控制部，在執行以在所述重復區域的整個區域使曝光量超過目標曝光量的方式使所述第1調整機構進行動作的第1調整動作之后，執行以在所述重復區域使曝光量收斂于所述目標曝光量的容許范圍的方式使所述第2調整機構進行動作的第2調整動作。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人佳能株式會社，其通訊地址為：日本東京；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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