拓荊科技股份有限公司譚華強獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉拓荊科技股份有限公司申請的專利半導體工藝腔體獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114334728B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111614005.X，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權半導體工藝腔體是由譚華強;申思;黃明策設計研發完成，并于2021-12-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體工藝腔體在說明書摘要公布了：本發明揭露一種半導體工藝腔體，其包含一電熱偶。電熱偶具有一管套，其包覆有內芯導線且具有一下游端及一上游端，所述下游端作為感溫部且插入射頻所施加的一部件中，所述上游端電連接至一腔體。其特征在于：所述腔體接地，使所述射頻于所述管套表面所引起的流動電流能夠經由所述腔體流至接地，使射頻被屏蔽在所述腔體內。
本發明授權半導體工藝腔體在權利要求書中公布了：1.一種半導體工藝腔體，包含： 一電熱偶，具有一測溫的內芯導線及一管套，其中，所述管套包覆所述內芯導線且具有一下游端及一上游端，所述下游端作為感溫部插入射頻所施加的一噴淋組件中，以感測所述噴淋組件的溫度，所述上游端電連接至一腔體頂部；以及 所述腔體頂部，固定有所述噴淋組件，并提供有一壓制組件，所述壓制組件包含固定于所述腔體頂部上方的一夾持座、位于所述腔體頂部下方的一夾套以及位于所述夾持座及所述夾套之間的一彈簧，其中，所述腔體頂部接地，使所述射頻于所述管套表面所引起的流動電流經由所述腔體頂部流至地，以使所述射頻被屏蔽在所述腔體內而不會干擾所述內芯導線，所述壓制組件連接所述電熱偶，并沿著所述電熱偶的插入方向提供一壓制力，所述夾持座和所述夾套分別夾持所述電熱偶的管套，所述彈簧提供所述壓制力給所述夾套，以使所述電熱偶的下游端與所述噴淋組件中的測溫處緊密接觸，所述夾持座具有一夾頭及一屏蔽環，所述夾頭夾持所述電熱偶的管套，所述屏蔽環連接于所述夾持座的外圍，使所述夾持座經游所述屏蔽環固定至所述腔體頂部的上表面，而未使所述夾持座接觸所述腔體頂部。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人拓荊科技股份有限公司，其通訊地址為：110171 遼寧省沈陽市渾南區水家900號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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