深圳市柯寶原科技有限公司王云升獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市柯寶原科技有限公司申請的專利一種掩膜板制作方法及掩膜板獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116463592B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210252156.3,技術領域涉及:C23C14/24;該發明授權一種掩膜板制作方法及掩膜板是由王云升設計研發完成,并于2022-03-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種掩膜板制作方法及掩膜板在說明書摘要公布了:本發明提供一種掩膜板制作方法及采用該方法制作形成的掩膜板,所述掩膜板制作方法包括:對作為掩膜的不銹鋼片進行張網;對所述不銹鋼片進行激光切割,形成需要的掩膜通孔圖案;將切割好的不銹鋼片焊接到掩膜板框上,去除多余部分獲得掩膜板半成品;取另一不銹鋼片制作保護片,對所述掩膜板半成品進行保護并打磨通孔邊沿,清洗獲得最終的掩膜板。由于本申請提供的掩膜板制作方法,采用打磨的方式去除了通孔邊沿的毛刺等缺陷,提高了掩膜板的制造良率。本申請提供的掩膜板由于采用上述方法制作形成,避免了掩膜板通孔邊沿毛刺等缺陷,因此能夠提高掩膜板的質量和OLED蒸鍍質量。
本發明授權一種掩膜板制作方法及掩膜板在權利要求書中公布了:1.一種掩膜板制作方法,其特征在于,包括: 取一絲網,將其水平拉伸繃緊,取一鋁框,在框體一面涂上膠水,然后將其貼在拉伸好的絲網上,膠水干燥粘接穩固后,沿鋁框的外邊沿將絲網裁下,制得網框; 取裁好的不銹鋼片,在不銹鋼片的一面的四周靠邊沿處涂上膠水,將其居中水平貼在所述網框上,讓不銹鋼片與絲網互相粘住; 膠水干燥后,將不銹鋼片下方的絲網裁掉,不銹鋼片和鋁框之間的絲網將不銹鋼片繃緊; 將繃緊的鋼片放入激光切割機中,根據設計的圖案,用激光切割出需要的通孔圖案,制得不銹鋼掩膜; 提供掩膜板框架,將切割好的帶網框的不銹鋼掩膜套在掩膜板框架上,將帶通孔圖案的不銹鋼掩膜用激光焊接機焊接在掩膜板框架上; 利用激光切割機沿掩膜板框架外邊沿將不銹鋼片和網框切割去除,獲得掩膜板半成品; 取另一不銹鋼片,用激光切割機切割大通孔圖案,該大通孔圖案跟所述掩膜板半成品中的通孔圖案一一對應,但是每個大通孔的開口都比掩膜板半成品中的通孔的開口大,制得不銹鋼保護片; 將掩膜板半成品以不銹鋼掩膜朝下,框架朝上放磁桌上,將不銹鋼保護片蓋在掩膜板半成品不銹鋼掩膜上,使得只有不銹鋼掩膜通孔邊沿部分才露出,吸住保護片,用砂紙打磨不銹鋼掩膜每個通孔邊沿,去除毛刺; 將打磨后的掩膜板半成品,清洗后烘干獲得最終的掩膜板成品。
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