蘇州博眾儀器科技有限公司;博眾精工科技股份有限公司鄔大龍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州博眾儀器科技有限公司;博眾精工科技股份有限公司申請的專利電子顯微鏡的真空抽取系統及真空抽取方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114899069B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210489587.1，技術領域涉及：H01J37/18；該發明授權電子顯微鏡的真空抽取系統及真空抽取方法是由鄔大龍;鄒文兵;唐愛權;魏志猛;李凌瞳;白生偉;周瑞設計研發完成，并于2022-05-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本電子顯微鏡的真空抽取系統及真空抽取方法在說明書摘要公布了：本發明屬于電子顯微鏡的技術領域，公開了電子顯微鏡的真空抽取系統及真空抽取方法。該電子顯微鏡的真空抽取系統包括：檢測件，用于檢測電子顯微鏡內的氣壓值；控制器，與檢測件通訊連接；抽真空機構，與電子顯微鏡內連通。抽真空機構包括均與控制器通訊連接的預抽組件、一級抽氣組件以及二級抽氣組件，控制器配置為根據氣壓值的逐漸降低而依次控制預抽組件、一級抽氣組件以及二級抽氣組件啟動。以此通過預抽組件、一級抽氣組件、二級抽氣組件依次啟動來完成對電子顯微鏡內的抽氣，不僅可以快速將氣體抽出，獲得符合要求的真空度，而且啟動過程完全由控制器來控制，其整體的自動化程度較高，能夠有效提高設備的使用效率。
本發明授權電子顯微鏡的真空抽取系統及真空抽取方法在權利要求書中公布了：1.一種電子顯微鏡的真空抽取系統，其特征在于，所述電子顯微鏡的真空抽取系統包括： 檢測件200，用于檢測電子顯微鏡內的氣壓值； 控制器300，與所述檢測件200通訊連接以獲取所述氣壓值； 抽真空機構，與所述電子顯微鏡內連通，以用于將所述電子顯微鏡內氣體抽出形成真空，所述抽真空機構包括均與所述控制器300通訊連接的預抽組件400、一級抽氣組件500以及二級抽氣組件600，所述控制器300配置為根據所述氣壓值的逐漸降低而依次控制所述預抽組件400、所述一級抽氣組件500以及所述二級抽氣組件600啟動，并保持所述一級抽氣組件500持續運行； 所述二級抽氣組件600包括： 二級抽氣泵，靠近所述電子顯微鏡的電子槍室110設置，并與所述控制器300及所述電子顯微鏡的電子槍室110相連接，所述二級抽氣泵的抽氣端與所述一級抽氣組件500的抽氣端連通，以調節所述二級抽氣泵的抽氣端的氣壓。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州博眾儀器科技有限公司;博眾精工科技股份有限公司，其通訊地址為：215200 江蘇省蘇州市吳江經濟技術開發區湖心西路666號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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