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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海大族富創(chuàng)得科技有限公司申請的專利一種具有End effect的SCARA機器人手臂獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115083986B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210724408.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)一種具有End effect的SCARA機器人手臂是由倪萌;周銳;曾瀟凱設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-06-23向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種具有End effect的SCARA機器人手臂在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種具有Endeffect的SCARA機器人手臂，包括吸盤本體、吸盤座、壓縮氣管接頭、真空氣管接頭；吸盤座一端固定連接有吸盤本體、吸盤座另一端固定連接有壓縮氣管接頭和真空氣管接頭；吸盤本體的內(nèi)部設(shè)有壓縮流道和真空流道；在吸盤本體上設(shè)有多個和壓縮流道連通的壓縮小孔，在吸盤本體上還設(shè)有和真空流道連通的負(fù)壓小孔；SCARA機器人手臂內(nèi)部設(shè)有壓縮氣體氣管氣路，通過壓縮氣體氣管氣路和外部設(shè)備吹氣裝置以及負(fù)壓裝置連接；真空壓力傳感器安裝于負(fù)壓裝置和真空氣管接頭之間的管路上，用于檢測所述真空流道內(nèi)的負(fù)壓。優(yōu)點在于：該機器人手臂末端執(zhí)行機構(gòu)大大降低了晶圓在搬運中損壞的概率，提高了晶圓搬運的效率。

本發(fā)明授權(quán)一種具有End effect的SCARA機器人手臂在權(quán)利要求書中公布了：1.一種具有Endeffect的SCARA機器人手臂，其特征在于，包括SCARA機器人手臂1、吸盤本體2、吸盤座3、壓縮氣管接頭4、真空氣管接頭5； 所述吸盤座3一端固定連接有所述吸盤本體2、所述吸盤座3另一端固定連接有所述壓縮氣管接頭4和所述真空氣管接頭5； 所述吸盤本體2的內(nèi)部設(shè)有壓縮流道21和真空流道22，所述壓縮流道21和所述壓縮氣管接頭4連通，所述真空流道22和所述真空氣管接頭5連通； 在所述吸盤本體2上設(shè)有多個和所述壓縮流道21連通的壓縮小孔23，所述壓縮小孔23的開口方向和所述吸盤本體2所在的平面平行；在所述吸盤本體2上還設(shè)有和所述真空流道22連通的負(fù)壓小孔24，所述負(fù)壓小孔24的開口方向和所述壓縮小孔23的開口方向垂直； 所述吸盤座3固定于所述SCARA機器人手臂1上，所述SCARA機器人手臂1內(nèi)部設(shè)有壓縮氣體氣管氣路，通過壓縮氣體氣管氣路和外部設(shè)備吹氣裝置11以及負(fù)壓裝置12連接； 所述吹氣裝置11通過壓縮氣體氣管氣路和所述壓縮氣管接頭4連通，所述負(fù)壓裝置12通過壓縮氣體氣管氣路和所述真空氣管接頭5連通，真空壓力傳感器13安裝于所述負(fù)壓裝置12和所述真空氣管接頭5之間的管路上，用于檢測所述真空流道22內(nèi)的負(fù)壓； 在所述吸盤本體2的邊緣處設(shè)有多個出風(fēng)缺口28，所述出風(fēng)缺口28和所述壓縮小孔23連通； 在所述吸盤本體2表面還設(shè)有多個負(fù)壓吸盤29，所述負(fù)壓吸盤29呈圓環(huán)形，所述負(fù)壓吸盤29和所述出風(fēng)缺口28連通，所述壓縮小孔23位于所述負(fù)壓吸盤29下方； 所述出風(fēng)缺口28具有沿出風(fēng)方向呈漸開狀的相對兩側(cè)壁，且一所述側(cè)壁筆直延伸，另一所述側(cè)壁包括相連的曲線段和筆直段，所述曲線段靠近所述壓縮小孔23設(shè)置，且所述曲線段朝向相對的所述側(cè)壁彎曲；或者， 所述壓縮流道21的中部環(huán)繞有環(huán)形塊8，所述環(huán)形塊8上設(shè)有多個風(fēng)孔81，所述風(fēng)孔81上設(shè)有兩個呈中心對稱的所述壓縮小孔23；在所述壓縮小孔23上方覆蓋有旋風(fēng)吸盤9，所述旋風(fēng)吸盤9上設(shè)有和所述壓縮小孔23對應(yīng)的旋風(fēng)吸盤排氣槽91； 連通壓縮流道21和風(fēng)孔81的壓縮小孔23具有沿進風(fēng)方向呈漸縮狀的相對兩側(cè)壁，且兩側(cè)壁均為曲面；所述旋風(fēng)吸盤排氣槽91具有沿出風(fēng)方向呈漸開狀的相對兩側(cè)壁，且兩側(cè)壁均筆直延伸。

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