華南理工大學李明獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉華南理工大學申請的專利一種超聲換能器及其制備方法和應用獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115274716B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210839758.9,技術領域涉及:H10D86/80;該發明授權一種超聲換能器及其制備方法和應用是由李明;劉玉榮;姚若河;耿魁偉設計研發完成,并于2022-07-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種超聲換能器及其制備方法和應用在說明書摘要公布了:本發明公開了一種超聲換能器及其制備方法和應用。本發明的超聲換能器的組成包括依次設置的柔性襯底、薄膜晶體管、壓電觸覺傳感器和電容式微加工超聲換能器。本發明的超聲換能器的制備方法包括以下步驟:在柔性襯底上依次制備薄膜晶體管、壓電觸覺傳感器和電容式微加工超聲換能器,即得超聲換能器。本發明的超聲換能器兼具超聲成像和觸覺傳感功能,具有超聲驅動電壓低、信噪比高、靈敏度高、可尋址陣列化、柔性可彎曲等優點,適合進行大規模推廣應用。
本發明授權一種超聲換能器及其制備方法和應用在權利要求書中公布了:1.一種超聲換能器,其特征在于,組成包括依次設置的柔性襯底、薄膜晶體管、壓電觸覺傳感器和電容式微加工超聲換能器;所述壓電觸覺傳感器的組成包括壓電材料層和觸覺傳感器電極;所述電容式微加工超聲換能器的組成包括主體支撐層、微空腔、振膜和超聲換能器電極;所述觸覺傳感器電極與振膜接觸;所述主體支撐層內部設置有微空腔;所述振膜覆蓋主體支撐層,且封閉微空腔;所述超聲換能器電極與振膜接觸;所述電容式微加工超聲換能器中的主體支撐層由壓電材料制成;所述主體支撐層還充當壓電觸覺傳感器中的壓電材料層。
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