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龍圖騰網獲悉中國電子科技集團公司第十三研究所申請的專利一種磷化銦多晶合成的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115896946B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211562684.5，技術領域涉及：C30B29/40；該發明授權一種磷化銦多晶合成的方法是由林朋;楊鵬;付莉杰;孫聶楓;史艷磊;王書杰;秦敬凱設計研發完成，并于2022-12-07向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種磷化銦多晶合成的方法在說明書摘要公布了：一種磷化銦多晶合成的方法，屬于半導體技術領域，包括：將坩堝內的銦加熱形成熔體；打開冷凝器；將磷加熱氣化，氣化的磷蒸氣進入坩堝中的熔體，與銦化合反應生成磷化銦；溢出熔體的磷蒸氣與冷凝器發生熱交換，凝結成液滴，流入液磷輸送管；液磷輸送管內的液態磷液面逐漸增加到一定高度時，封堵打開，液磷流入到石英磷容器中；反應完成后，停止加熱器和磷加熱器工作，降至室溫，拆分裝置，取出坩堝。本發明采用冷凝技術將逃逸的磷蒸氣回收后繼續參與反應，大大提高原材料的利用率；提高單次多晶的合成量，大幅提高合成效率；逃逸的磷蒸氣回收利用，省去了了繁瑣的爐子清洗過程；可以實現裝填一次磷，多次合成磷化銦。

本發明授權一種磷化銦多晶合成的方法在權利要求書中公布了：1.一種磷化銦多晶合成的方法，基于具有磷回收裝置的磷化銦合成設備實現，所述磷化銦合成設備包括設置在底部的石英磷容器（3）、設置在石英磷容器（3）外圍的磷加熱器（1）、連接石英磷容器（3）的坩堝（8）、設置在坩堝（8）外圍的加熱器（9），其特征在于：所述坩堝（8）底部設置微米級孔洞（10），所述磷化銦合成設備還包括磷回收裝置，包括位于坩堝（8）上方的冷凝器（6）、與冷凝器（6）相對設置的液磷通道、液磷通道盡頭的液磷輸送管（5），液磷輸送管（5）連通冷凝器（6）附近的空間和石英磷容器（3），在液磷輸送管（5）底部開口處設置封堵（4）；所述液磷通道為傾斜通道（13），傾斜通道（13）將液態磷匯聚至液磷輸送管（5）的上開口；所述液磷輸送管（5）外圍設置液態磷加熱器（11）； 所述方法包括以下步驟： 1.1、裝銦：對銦進行表面清洗烘干，裝入坩堝（8）； 1.2、裝磷：將紅磷裝入石英磷容器（3）； 1.3、裝配：將坩堝（8）和石英磷容器（3）裝配在一起； 1.4、合成： 1.4.1、將坩堝（8）內的銦加熱至銦熔化形成熔體，加熱溫度為高于銦的熔點10-20℃； 1.4.2、打開冷凝器（6），通入循環冷卻液； 1.4.3、將石英磷容器（3）內的磷加熱氣化，加熱溫度為高于磷化銦的熔點10-20℃；氣化的磷蒸氣經過坩堝（8）底部的微米級孔洞（10）進入坩堝（8）中的熔體，與銦化合反應生成磷化銦； 1.4.4、溢出熔體的磷蒸氣與冷凝器（6）發生熱交換，凝結成液滴，流入液磷輸送管（5）； 1.4.5、液磷輸送管（5）內的液態磷液面逐漸增加，增加到一定高度時，封堵（4）因液磷的壓力而打開，液磷流入到石英磷容器（3）中； 1.4.6、反應完成后，停止加熱器（9）和磷加熱器（1）工作，降至室溫，拆分裝置，取出坩堝（8）。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國電子科技集團公司第十三研究所，其通訊地址為：050000 河北省石家莊市新華區合作路113號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。