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龍圖騰網獲悉浙江大學申請的專利一種基于全固態隨機相位環形光源的低噪聲斐索干涉測試裝置及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115773724B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211623119.5，技術領域涉及：G01B11/24；該發明授權一種基于全固態隨機相位環形光源的低噪聲斐索干涉測試裝置及方法是由劉東;李欣明;彭韶婧;徐兆銳設計研發完成，并于2022-12-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于全固態隨機相位環形光源的低噪聲斐索干涉測試裝置及方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種基于全固態隨機相位環形光源的低噪聲斐索干涉測試裝置及方法，主要包括激光器、顯微物鏡、針孔濾波器、準直鏡組、軸錐鏡、聚焦鏡組、分束器、空間光調制器、對準相機等構成的全固態隨機相位環形光源模塊，以及斐索干涉測試模塊。本發明的裝置及方法，能夠通過全固態隨機相位環形光源模塊，降低斐索干涉測試中光學元件表面缺陷和灰塵顆粒等產生的相干噪聲的影響，提高干涉儀的中頻傳遞能力，實現對平面光學元件面形的低噪聲、高精度測量，并可適配球面測量；同時具有點光源工作模式，可適配球面、非球面、自由曲面測量和瞬態測量；裝置還避免了機械運動組件的使用，提高了可靠性和穩定性。

本發明授權一種基于全固態隨機相位環形光源的低噪聲斐索干涉測試裝置及方法在權利要求書中公布了：1.一種基于全固態隨機相位環形光源的低噪聲斐索干涉測試裝置，其特征在于，包括全固態隨機相位環形光源模塊和斐索干涉測試模塊； 所述的全固態隨機相位環形光源模塊包括：激光器、顯微物鏡、針孔濾波器、第一準直鏡組、軸錐鏡、導軌、聚焦鏡組、第一分束器、空間光調制器、中性密度濾光片和對準相機；激光從激光器出射，通過顯微物鏡聚焦到針孔濾波器上完成空間濾波；濾波后形成的點光源通過第一準直鏡組準直為平行光，通過軸錐鏡生成貝塞爾光束；光束通過聚焦鏡組和第一分束器后，透射光束在空間光調制器上聚焦成為環形光源，反射光束經過中性密度濾光片進行光強衰減，聚焦到對準相機上以輔助裝調；軸錐鏡安裝于導軌上，通過導軌移出或移入光路，以實現點光源模式和環形光源模式的切換； 所述的斐索干涉測試模塊包括：第二分束器、第二準直鏡組、標準透射平晶、被測平面、成像鏡組和成像相機；全固態隨機相位環形光源模塊提供的隨機相位環形光源從空間光調制器出射，由第一分束器反射進入斐索干涉測試模塊，透射經過第二分束器后，由第二準直鏡組準直成為平行光，照射到標準透射平晶和被測平面上并分別發生反射；兩束反射光相干疊加，形成干涉條紋，經第二分束器反射折轉至成像光路，由成像鏡組將干涉條紋成像到成像相機上。

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