大連理工大學王華獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉大連理工大學申請的專利一種用于電子工廠的硅烷安全存儲裝置及其儲存方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116336369B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310162920.2,技術領域涉及:F17C1/00;該發明授權一種用于電子工廠的硅烷安全存儲裝置及其儲存方法是由王華;畢明樹;高偉;尚升設計研發完成,并于2023-02-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于電子工廠的硅烷安全存儲裝置及其儲存方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種用于電子工廠的硅烷安全存儲裝置及其儲存方法,屬于氣體存儲領域。一種用于電子工廠的硅烷安全存儲裝置,包括儲氣罐,所述儲氣罐的頂側連通有帶控制閥的進氣管,還包括:頂升機構;本發明通過固定筒、頂升塊、頂升桿、復位彈簧和頂升板等結構組成的提升機構,是為了用于配合連接管、壓力傳感器、傳輸導線、報警器、連接彈簧、弧形連接頭和按壓桿等結構組成的警示單元,能夠對儲氣罐內用于電子工廠制備一些特大或超大規模集成電路、芯片、平板顯示器、非晶硅薄膜太陽能電池等電子產品用于的硅烷氣體,在存入儲氣罐內的預滿量進行警示,避免硅烷氣體存入儲氣罐內過多,引起儲氣罐發生爆炸造成安全隱患的問題。
本發明授權一種用于電子工廠的硅烷安全存儲裝置及其儲存方法在權利要求書中公布了:1.一種用于電子工廠的硅烷安全存儲裝置,包括 儲氣罐(1),所述儲氣罐(1)的頂側連通有帶控制閥的進氣管(2),其特征在于,還包括: 頂升機構(3); 其中,所述頂升機構(3)包括連通在儲氣罐(1)頂部中心位置的固定筒(31),所述固定筒(31)的底部與儲氣罐(1)的內頂壁之間貼合有頂升塊(32),所述頂升塊(32)的底部與頂升塊(32)對應的一側之間設有連通的對接口(33),所述頂升塊(32)的頂部與固定筒(31)的內頂壁之間固定連接有復位彈簧(34),所述頂升塊(32)的頂部中心固定連接有位于復位彈簧(34)內的頂升桿(35),所述頂升桿(35)的另一端貫穿至固定筒(31)的頂部上方固定連接有頂升板(36),所述頂升桿(35)的表面設有齒輪槽(37); 警示單元(4),設置在所述固定筒(31)的一側與頂升板(36)的頂部之間,用于對儲氣罐(1)內部儲存的氣體在預設閾值時警示; 泄壓單元(5),設置在所述固定筒(31)的另一側與位于固定筒(31)頂部對應的齒輪槽(37)之間,用于對儲氣罐(1)內部的氣壓在受溫度升高壓時泄壓收集; 所述泄壓單元(5)包括泄壓機構(51),所述泄壓機構(51)包括連通在固定筒(31)表面的泄壓管(5101),所述泄壓管(5101)的內壁與外表面之間通過連接軸連接有與泄壓管(5101)內壁貼合的球閥(5102),所述球閥(5102)貼合于泄壓管(5101)內壁之間的表面連通有泄壓槽(5103),所述球閥(5102)位于連接軸對應相反的一面連接有轉動桿一(5104),所述轉動桿一(5104)水平延伸至泄壓管(5101)對應的外表面固定連接有皮帶輪一(5105),所述皮帶輪一(5105)的內表面連接有相適配的傳動齒帶(5106),所述傳動齒帶(5106)的內表面固定連接有皮帶輪二(5107),所述皮帶輪二(5107)的表面固定連接有轉動桿二(5108),所述轉動桿二(5108)的另一端固定連接有與齒輪槽(37)連接相適配的圓形齒輪(5109); 所述泄壓單元(5)還包括收集機構(52),所述收集機構(52)包括連通在泄壓管(5101)外端的收集筒(5201),所述收集筒(5201)的底部固定連接在儲氣罐(1)的頂部,所述收集筒(5201)的底部與儲氣罐(1)的內底壁之間設有連接輸氣針(5202),所述收集筒(5201)的內底壁與內表壁之間貼合有相適配的活塞板(5203),所述活塞板(5203)的頂部中心固定連接有L型推桿(5204),所述L型推桿(5204)的另一端貫穿至收集筒(5201)的頂部,固定連接在頂升板(36)對應的表面。
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