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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所申請(qǐng)的專利基于體硅鍵合技術(shù)的懸臂微橋可調(diào)諧紅外濾波器及其制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN117539049B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202311520743.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G02B26/00；該發(fā)明授權(quán)基于體硅鍵合技術(shù)的懸臂微橋可調(diào)諧紅外濾波器及其制備方法是由應(yīng)翔霄;周易;周建;王芳芳;陳建新設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-11-15向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基于體硅鍵合技術(shù)的懸臂微橋可調(diào)諧紅外濾波器及其制備方法在說明書摘要公布了：一種基于體硅鍵合技術(shù)的大面積懸臂微橋工藝的靜電調(diào)諧紅外濾波器及其制備方法，動(dòng)鏡和靜鏡獨(dú)立加工，利用銦互聯(lián)為一體，形成靜電電壓驅(qū)動(dòng)可調(diào)諧的F?P濾波器結(jié)構(gòu)。本發(fā)明有效解決利用犧牲層技術(shù)透光面積有限、不耐真空低溫沖擊等缺陷。采用銦粘合的工藝實(shí)現(xiàn)動(dòng)、靜鏡集成一體，能保證大面積mm尺寸整體橋面一致性，且橋面總體應(yīng)力均勻。滿足真空、低溫沖擊下的使用條件。且在中波紅外范圍實(shí)現(xiàn)電壓驅(qū)動(dòng)下濾波范圍調(diào)諧功能。該發(fā)明可用于制冷型紅外探測(cè)器表面集成濾波片，獲得覆蓋整個(gè)芯片面積的大尺寸動(dòng)態(tài)濾波調(diào)諧的探測(cè)功能。

本發(fā)明授權(quán)基于體硅鍵合技術(shù)的懸臂微橋可調(diào)諧紅外濾波器及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基于體硅鍵合技術(shù)的圓弧型懸臂微橋結(jié)構(gòu)可調(diào)諧紅外濾波器，包括靜鏡和動(dòng)鏡，其特征在于，所述靜鏡和動(dòng)鏡通過銦球互聯(lián)鍵合為一體，中間形成空腔，利用靜電力作用實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)可調(diào)諧功能； 所述靜鏡包括靜鏡硅襯底層B1、位于該靜鏡硅襯底層B1上的金電極層和靜鏡濾波區(qū)域B3，以及多根銦柱梁B4；所述金電極層由多組電極組構(gòu)成，每組電極組由第一電極B21和第二電極B22組成，所述第一電極B21靠近所述靜鏡濾波區(qū)域B3的一端呈圓形，上方設(shè)置所述銦柱梁B4，用于與所述動(dòng)鏡T導(dǎo)電，所述第二電極B22的一端與所述第一電極B21對(duì)應(yīng)，另一端呈圓弧狀圍繞所述靜鏡濾波區(qū)域B3；所述靜鏡濾波區(qū)域B3呈圓形，且位于所述第二電極B22圓弧端圍繞而成的圓形中央； 所述動(dòng)鏡包括動(dòng)鏡硅襯底層T1、以及位于該動(dòng)鏡硅襯底層T1上的懸臂梁電極層和動(dòng)鏡濾波區(qū)域T3；所述懸臂梁電極層由多組與所述電極組數(shù)量相同的臂梁電極組構(gòu)成，每組臂梁電極組由依次連接的第一懸臂梁電極T21、第二懸臂梁電極T22和第三懸臂梁電極T23連接成圓弧形，各個(gè)臂梁電極組相互嵌套圍繞成圓形，所述動(dòng)鏡濾波區(qū)域T3呈圓形，且位于所述臂梁電極組圍繞而成的圓形中央；所述動(dòng)鏡硅襯底層T1劃分為固定區(qū)域、懸臂梁區(qū)域T4和橋面區(qū)域T5；所述第一懸臂梁電極T21位于所述懸臂梁區(qū)域T4上，并與所述銦柱梁B4相對(duì)應(yīng)形成支撐結(jié)構(gòu)；所述第二懸臂梁電極T22位于所述懸臂梁區(qū)域T4上，所述第三懸臂梁電極T23一部分位于所述橋面區(qū)域T5上，另一部分位于固定區(qū)域上； 所述銦柱梁B4與所述第一懸臂梁電極T21鍵合，使所述動(dòng)鏡與靜鏡鍵合為一體；所述靜鏡濾波區(qū)域B3與動(dòng)鏡濾波區(qū)域T3相對(duì)應(yīng)構(gòu)成懸空的空腔結(jié)構(gòu)，在偏置電壓作用下，利用靜電力降低懸臂梁區(qū)域T4和橋面區(qū)域T5的高度，實(shí)現(xiàn)濾波波長(zhǎng)隨腔長(zhǎng)高度的調(diào)諧； 所述電極組為三組，所述銦柱梁B4為三根，所述臂梁電極組為三組。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所，其通訊地址為：200080 上海市虹口區(qū)玉田路500號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。