惠科股份有限公司張合靜獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉惠科股份有限公司申請的專利陣列氣敏傳感裝置及陣列氣敏傳感器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN118533905B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202410375986.4,技術領域涉及:G01N27/00;該發明授權陣列氣敏傳感裝置及陣列氣敏傳感器是由張合靜;劉振;卓恩宗;許哲豪;袁海江設計研發完成,并于2024-03-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本陣列氣敏傳感裝置及陣列氣敏傳感器在說明書摘要公布了:本申請公開了一種陣列氣敏傳感器裝置及陣列氣敏傳感器,屬于氣敏傳感技術領域。本申請提供的一種陣列氣敏傳感裝置包括多個氣敏傳感裝置,所述氣敏傳感裝置包括:控制驅動模塊,所述控制驅動模塊接入柵極驅動電壓和數據電壓,所述控制驅動模塊用于在所述柵極驅動電壓的驅動下基于所述數據電壓提供氣體檢測電壓;氣體檢測模塊,所述氣體檢測模塊接入加熱電極電壓,所述氣體檢測模塊的輸入端和所述控制驅動模塊連接,所述氣體檢測模塊的輸出端與外部檢測端口連接,所述氣體檢測模塊用于基于所述加熱電極電壓和所述氣體檢測電壓進行氣體檢測,進而實現了不同氣體的針對性檢測。
本發明授權陣列氣敏傳感裝置及陣列氣敏傳感器在權利要求書中公布了:1.一種陣列氣敏傳感裝置,其特征在于,所述陣列氣敏傳感裝置包括多個氣敏傳感裝置,所述氣敏傳感裝置包括: 控制驅動模塊,所述控制驅動模塊接入柵極驅動電壓和數據電壓,所述控制驅動模塊用于在所述柵極驅動電壓的驅動下基于所述數據電壓提供氣體檢測電壓,所述氣體檢測電壓是指在柵極驅動電壓的驅動下所述控制驅動模塊基于數據電壓輸入之后的輸出電壓; 氣體檢測模塊,所述氣體檢測模塊接入加熱電極電壓,所述氣體檢測模塊的輸入端和所述控制驅動模塊連接,所述氣體檢測模塊的輸出端與外部檢測端口連接,所述氣體檢測模塊用于基于所述加熱電極電壓和所述氣體檢測電壓進行氣體檢測; 其中,所述控制驅動模塊包括薄膜晶體管和接地電容,所述薄膜晶體管的第一端接入所述數據電壓,所述薄膜晶體管的第三端接入所述柵極驅動電壓,所述薄膜晶體管的第二端與所述氣體檢測模塊連接,所述接地電容的第一端與所述薄膜晶體管的第二端連接,所述接地電容的第二端接地; 所述氣體檢測模塊包括氣敏傳感器,所述氣敏傳感器的第一端與所述薄膜晶體管的第二端連接,所述氣敏傳感器的第二端與所述外部檢測端口連接,所述氣敏傳感器的第三端與所述加熱電極電壓連接; 所述氣敏傳感裝置還包括: 基板; 絕緣層,所述絕緣層設置在所述基板上; 鈍化保護層,所述鈍化保護層設置在所述絕緣層上; 所述氣敏傳感器包括第四電極、第五電極、加熱電極以及氣敏半導體層,所述第四電極與所述第五電極間隔設置于所述鈍化保護層上; 所述氣體檢測模塊被設置為將所述氣敏半導體層覆蓋于所述第四電極、所述第五電極,以及所述第四電極與所述第五電極之間暴露的鈍化保護層,并將所述第四電極電連接所述薄膜晶體管的第二端以及所述第五電極電連接所述外部檢測端口,以形成通過所述薄膜晶體管開關控制的電流檢測通路,依據所述電流檢測通路輸出的電流強度變化確定所述氣敏半導體層接觸到的氣體濃度變化。
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