中國科學院合肥物質科學研究院蔣才超獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉中國科學院合肥物質科學研究院申請的專利一種大功率射頻離子源保護系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118737781B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202410891112.4，技術領域涉及：H01J27/02；該發明授權一種大功率射頻離子源保護系統是由蔣才超;齊麒;崔慶龍;劉波;潘軍軍;陳世勇;劉智民;劉勝;謝遠來設計研發完成，并于2024-07-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種大功率射頻離子源保護系統在說明書摘要公布了：本發明公開了一種大功率射頻離子源保護系統，涉及射頻離子源技術領域。通過對反應射頻離子源等離子體放電狀態的的駐波信號和功率反射信號進行處理，并與設定的保護閾值進行比較，從而可判定出在非正常放電下需要發出的保護信號，進而關閉射頻功率輸出，中止等離子體放電，達到保護離子源和功率源的目的。同時，在等離子體建立的初始時刻，由于阻抗匹配從失配進入匹配的過程中會引起駐波和反射信號的突變，本發明的保護系統設計了一個盲區，用于在該時刻來屏蔽保護信號的發出，從而避免等離子體無法正常激發。本發明不僅提升了射頻離子源工作時的安全性，還有效地保障了射頻離子源的高效持久運行。
本發明授權一種大功率射頻離子源保護系統在權利要求書中公布了：1.一種大功率射頻離子源保護系統，其特征在于，包括集成在電路板上的信號接口模塊、信號處理模塊、控制器模塊、光纖通信模塊、上位機模塊，其中，駐波信號和反射信號作為輸入信號通過信號接口模塊輸入保護系統，經由信號處理模塊進行分壓和濾波后輸入控制器模塊中，由控制器模塊實時監測輸入信號的電壓幅值，將輸入信號的電壓幅值與控制器模塊的程序中設定的保護信號閾值進行比較，若輸入信號的電壓幅值小于保護信號閾值，說明系統正常，不作任何處理；若輸入信號的電壓幅值大于等于保護信號閾值，則控制器模塊輸出保護信號停止射頻離子源運行；所述控制器模塊還包括設置監測盲區時間，且在監測盲區時間內對輸入的駐波信號和反射信號加以屏蔽，不輸出保護信號； 控制器模塊通過光纖通信模塊實現與上位機模塊的長距離通信，所述上位機模塊通過圖形用戶界面實現數據可視化，提供用戶交互界面，允許操作人員監視系統狀態、查看實時數據和歷史記錄、配置系統設置。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院合肥物質科學研究院，其通訊地址為：230031 安徽省合肥市廬陽區三十崗鄉古城路181號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號