買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉無錫富創得精密設備有限公司申請的專利一種雙軸定位運動裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223284506U 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422026141.2，技術領域涉及：G03F7/20；該實用新型一種雙軸定位運動裝置是由鄭青斌;寧堅;弓利軍;張配設計研發完成，并于2024-08-20向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種雙軸定位運動裝置在說明書摘要公布了：本申請實施例提供了一種雙軸定位運動裝置，包括運動平臺、激光發射裝置、第一激光處理部件、第二激光處理部件、驅動部件和中控裝置，中控裝置與驅動部件、第一激光處理部件和第二激光處理部件塊均對應連接，以使中控裝置能夠根據第一激光處理部件、第二激光處理部件反饋的信息控制驅動部件驅動放置載臺移動至預設位置。本實用新型中的雙軸定位運動裝置避免了需要通過外部裝置協助才能進行待處理的晶圓片的位置微調的情況，有效提高定位的精度，以滿足高精確加工的精度要求，為后續的處理工藝提供了保障。

本實用新型一種雙軸定位運動裝置在權利要求書中公布了：1.一種雙軸定位運動裝置，其特征在于，包括： 運動平臺，所述運動平臺中空形成測試腔，所述測試腔內活動設置有放置載臺，所述放置載臺用于放置待處理的晶圓片； 激光發射裝置，設置于所述運動平臺的一側，所述激光發射裝置上設置有第一激光發射口和第二激光發射口，所述第一激光發射口和所述第二激光發射口分別發射用于第一方向定位的第一激光和用于第二方向定位的第二激光，所述第一方向和所述第二方向對應垂直； 第一激光處理部件，包括第一移動反射件和第一激光干涉器組件，其中所述第一移動反射件對應設置于所述放置載臺上朝向所述第一方向的一側，所述第一激光干涉器組件上開設有第一入射口和第一測量激光出射口，所述第一入射口與所述第一激光發射口對應連接，以使所述第一激光干涉器組件能夠將所述第一激光處理為第一測量激光，所述第一測量激光出射口對應朝向且正對所述第一移動反射件，以使所述第一測量激光能夠發射至所述第一移動反射件上，且所述第一測量激光被所述第一移動反射件反射至第一激光干涉器組件上，以實現能夠測出所述第一移動反射件在第一方向上的位移； 第二激光處理部件，包括第二移動反射件和第二激光干涉器組件，其中所述第二移動反射件對應設置于所述放置載臺上朝向所述第二方向的一側，且與所述第一移動反射件對應垂直，所述第二激光干涉器組件上開設有第二入射口和第二測量激光出射口，所述第二入射口與所述第二激光發射口對應連接，以使所述第二激光干涉器組件能夠將所述第二激光處理為第二測量激光，所述第二測量激光出射口對應朝向且正對所述第二移動反射件，以使所述第二測量激光能夠發射至所述第二移動反射件上，且所述第二測量激光被所述第二移動反射件反射至第二激光干涉器組件上，以實現能夠測出所述第二移動反射件在第二方向上的位移； 驅動部件，包括第一驅動組件和第二驅動組件，所述第一驅動組件用于驅動所述放置載臺沿所述第一方向進行移動，所述第二驅動組件用于驅動所述放置載臺沿所述第二方向進行移動； 中控裝置，所述中控裝置與所述驅動部件、所述第一激光處理部件和所述第二激光處理部件塊均對應連接，以使所述中控裝置能夠根據所述第一激光處理部件、所述第二激光處理部件反饋的信息控制所述驅動部件驅動所述放置載臺移動至預設位置。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人無錫富創得精密設備有限公司，其通訊地址為：214028 江蘇省無錫市新吳區梅村街道梅育路100號7幢一樓西側；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。