昆山國力大功率器件工業技術研究院有限公司程肇平獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉昆山國力大功率器件工業技術研究院有限公司申請的專利一種可消除背散射電子和二次電子的真空金屬蒸鍍用輸出窗獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223280917U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422096382.4，技術領域涉及：C23C14/30；該實用新型一種可消除背散射電子和二次電子的真空金屬蒸鍍用輸出窗是由程肇平;郭軍營;王少哲;李永明設計研發完成，并于2024-08-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種可消除背散射電子和二次電子的真空金屬蒸鍍用輸出窗在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種可消除背散射電子和二次電子的真空金屬蒸鍍用輸出窗，坩堝內的靶材融化產生的金屬蒸汽上升，通過所述輸送窗的窗口擴散到鍍膜基材上冷卻沉積成膜，所述輸送窗包括框架，所述框架的相對兩側設有永磁磁路，兩所述永磁磁路之間設有供金屬蒸汽上升的窗口；所述永磁磁路包括至少兩個磁軛、設于兩所述磁軛之間的永磁體和隔板，所述磁軛遠離框架且與隔板處于同一水平面的一端為極靴；兩所述永磁磁路按照輸出窗的中心呈圓周對稱分布，且兩側所述磁路的極靴錯位排列，極大的減少了背散射電子和二次電子通過輸出窗對鍍膜基材的轟擊，使得基材分子排列結構不會受到破壞，從而保證了基材抗拉機械強度不會下降明顯。
本實用新型一種可消除背散射電子和二次電子的真空金屬蒸鍍用輸出窗在權利要求書中公布了：1.一種可消除背散射電子和二次電子的真空金屬蒸鍍用輸出窗，坩堝1內的靶材2融化產生的金屬蒸汽上升，通過所述輸送窗的窗口擴散到鍍膜基材71上冷卻沉積成膜，其特征在于，所述輸送窗包括框架51，所述框架51的相對兩側設有永磁磁路，兩所述永磁磁路之間設有供金屬蒸汽上升的窗口； 所述永磁磁路包括至少兩個磁軛、設于兩所述磁軛之間的永磁體52和隔板53，所述磁軛遠離框架51且與隔板53處于同一水平面的一端為極靴57； 兩所述永磁磁路按照輸出窗5的中心呈圓周對稱分布，且兩側所述磁路的極靴57錯位排列。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人昆山國力大功率器件工業技術研究院有限公司，其通訊地址為：215300 江蘇省蘇州市昆山開發區西湖路28號6號房；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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